Supporter EPI

Vetek Semiconductor est un leader professionnel China EPI entreprise, Ald Planetary Tugor et TAC enduit de soutien en graphite enduit. et Notre support EPI est un élément important decroissance épitaxialeDans le processus de fabrication de semi-conducteurs. Sa fonction principale est de soutenir et de chauffer la tranche afin qu'une couche épitaxiale de haute qualité puisse être uniformément cultivée sur la surface de la tranche.

Les suscepteurs EPI de Vetek Semiconductors sont généralement en graphite de haute pureté et recouverts d'une couche de carbure de silicium (sic).Cette conception présente les avantages clés suivants:

● Stabilité à haute température: Le suscepteur EPI peut rester stable dans un environnement à haute température, garantissant la croissance uniforme de la couche épitaxiale.

● Résistance à la corrosion: Le revêtement SIC a une excellente résistance à la corrosion et peut résister à l'érosion des gaz chimiques, prolongeant la durée de vie du plateau.

● Conductivité thermique: La conductivité thermique élevée du matériau SIC assure une distribution de température uniforme de la tranche pendant le chauffage, améliorant ainsi la qualité de la couche épitaxiale.

● Association du coefficient d'extension thermique: Le coefficient de dilatation thermique du SIC est similaire à celui du graphite, évitant le problème de la perte de revêtement en raison de l'expansion thermique et de la contraction.

Propriétés physiques de base deRevêtement CVD sic:

CVD SIC Coating Production Shop:

Aperçu de la chaîne de l'industrie de l'épitaxie des puces semi-conductrices: