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Tantalum Carbure revêtu de carbure
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Tantalum Carbure revêtu de carbure

Vetek Semiconductor est un fabricant de couvertures et innovateurs enduit de carbure de tantale en Chine. Nous sommes spécialisés dans le revêtement TAC et SIC depuis de nombreuses années. Nos produits ont une résistance à la corrosion, une forte résistance. Nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.

Trouvez une vaste sélection de couvertures revêtues de carbure de tantale de la Chine au semi-conducteur de Vetek. Fournir un service après-vente professionnel et le bon prix, dans l'attente de la coopération. La couverture revêtue de carbure de tantale développée par Vetek Semiconductor est un accessoire spécialement conçu pour le système Aixtron G10 MOCVD, visant à optimiser l'efficacité et à améliorer la qualité de la fabrication de semi-conducteurs. Il est méticuleusement conçu à l'aide de matériaux de haute qualité et fabriqué avec une plus grande précision, garantissant des performances et une fiabilité exceptionnelles pour les processus de dépôt chimique en phase chimique métal-organique (MOCVD).


Construit avec un substrat de graphite recouvert de carbure de tantalum (TAC) (TAC), le couvercle enduit de carbure de carbide en tant que tantalum offre une stabilité thermique exceptionnelle, une pureté élevée et une résistance à des températures élevées. Cette combinaison unique de matériaux fournit une solution fiable pour les conditions opérationnelles exigeantes du système MOCVD.


La couverture revêtue de carbure de tantale est personnalisable pour répondre à diverses tailles de plaquettes semi-conductrices, ce qui le rend adapté à diverses exigences de production. Sa construction robuste est spécifiquement conçue pour résister à l'environnement MOCVD difficile, garantissant des performances durables et minimisant les coûts d'arrêt et de maintenance associés aux transporteurs et suscepteurs.


En incorporant le couvercle TAC dans le système AIXTRON G10 MOCVD, les fabricants de semi-conducteurs peuvent obtenir une efficacité plus élevée et des résultats supérieurs. La stabilité thermique exceptionnelle, la compatibilité avec différentes tailles de plaquettes et les performances fiables du disque planétaire en font un outil indispensable pour optimiser l'efficacité de la production et obtenir des résultats exceptionnels dans le processus MOCVD.



Paramètre du produit du couvercle revêtu de carbure de tantale

Propriétés physiques du revêtement TAC
Densité 14.3 (g / cm³)
Émissivité spécifique 0.3
Coefficient de dilatation thermique 6.3 10-6/ K
Dureté (HK) 2000 HK
Résistance 1 × 10-5Ohm * cm
Stabilité thermique <2500 ℃
Modifications de la taille du graphite -10 ~ -20UM
Épaisseur de revêtement Valeur typique ≥20UM (35UM ± 10UM)


Performances de la plaquette après avoir utilisé nos composants:

the Wafer performance after using our components


Semi-conducteur:

Tantalum Carbide Coated Cover shops


Aperçu de la chaîne de l'industrie de l'épitaxie des puces semi-conductrices:

Overview of the semiconductor chip epitaxy industry chain


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