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Tantalum Carbure revêtu de Chuck
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Tantalum Carbure revêtu de Chuck

Vetek Semiconductor est un fabricant et innovateur de Chuck enrobé de carbure de Tantalum de premier plan en Chine. Nous sommes spécialisés dans le revêtement TAC depuis de nombreuses années. Nos produits ont une pureté élevée et une résistance à haute température jusqu'à 2000 ℃. Nous attendons avec impatience de devenir votre partenaire à long terme en Chine.

Vetek Semiconductor fournit un mandrin enduit de carbure de carbure de carbure de haute qualité, des pièces de revêtement sic à prix compétitif. Cet accessoire améliore l'efficacité et la qualité dans la fabrication de semi-conducteurs, offrant des performances et une fiabilité exceptionnelles.

Fabriqué à partir de matériaux de haute qualité et fabriqués avec précision, le Chuck dispose d'un substrat de graphite recouvert de carbure de Tantalum CVD (TAC). Ce revêtement offre une excellente stabilité thermique, une pureté élevée et une résistance à des températures élevées. Il assure des performances fiables dans les conditions exigeantes des processus MOCVD.

Le mandrin est personnalisable pour s'adapter à différentes tailles de plaquettes semi-conductrices, ce qui le rend adapté à diverses exigences de production. Sa construction robuste minimise les temps d'arrêt et les coûts de maintenance associés aux transporteurs de plaquettes et aux suscepteurs.

Avec le mandrin revêtu de carbure de carbure de carbure de Tantalum Vetek, le système AIXTRON G10 MOCVD obtient une efficacité plus élevée et des résultats supérieurs dans la fabrication de semi-conducteurs. Sa stabilité thermique exceptionnelle, sa compatibilité avec différentes tailles de plaquettes et ses performances fiables en font un outil essentiel pour optimiser l'efficacité de la production et obtenir des résultats exceptionnels dans l'environnement MOCVD difficile.


Paramètre de produit du mandrin enduit de carbure de tantale

Propriétés physiques du revêtement TAC
Densité 14.3 (g / cm³)
Émissivité spécifique 0.3
Coefficient de dilatation thermique 6.3 10-6/ K
Dureté (HK) 2000 HK
Résistance 1 × 10-5Ohm * cm
Stabilité thermique <2500 ℃
Modifications de la taille du graphite -10 ~ -20UM
Épaisseur de revêtement Valeur typique ≥20UM (35UM ± 10UM)


Performances de la plaquette après avoir utilisé nos composants:

Wafer performance after using our components


Comparez l'atelier de production de semi-conducteurs:

VeTek Semiconductor Production Shop


Aperçu de la chaîne de l'industrie de l'épitaxie des puces semi-conductrices:

Overview of the semiconductor chip epitaxy industry chain


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