CVD TAC TACTING Carrier

Vetek Semiconductor est un porteur de revêtement CVD CVD TAC professionnel de la Chine, Epitaxy Suscepteur,Support de graphite enduit de tacfabricant.

Grâce à la recherche continue des processus et de l'innovation matérielle, le transporteur de revêtement CVD TAC de Vetek Semiconductor joue un rôle très critique dans le processus épitaxial, incluant principalement les aspects suivants:

Protection du substrat: Le support de revêtement TAC CVD offre une excellente stabilité chimique et stabilité thermique, empêchant efficacement les gaz à haute température et corrosifs d'éroder le substrat et la paroi interne du réacteur, garantissant la pureté et la stabilité de l'environnement de processus.

Uniformité thermique: Combiné avec la conductivité thermique élevée du support de revêtement TAC CVD, il assure l'uniformité de la distribution de la température dans le réacteur, optimise la qualité des cristaux et l'uniformité de l'épaisseur de la couche épitaxiale et améliore la cohérence des performances du produit final.

Contrôle de contamination par les particules: Étant donné que les porteurs enduits de TAC CVD ont des taux de génération de particules extrêmement faibles, les propriétés de surface lisse réduisent considérablement le risque de contamination des particules, améliorant ainsi la pureté et le rendement pendant la croissance épitaxiale.

Durée de vie de l'équipement prolongé: Combiné avec l'excellente résistance à l'usure et la résistance à la corrosion du porte-revêtement CVD TAC, il étend considérablement la durée de vie des composants de la chambre de réaction, réduit les coûts d'arrêt et de maintenance de l'équipement et améliore l'efficacité de la production.

En combinant les caractéristiques ci-dessus, le transporteur de revêtement CVD TAC de Vetek semi-conducteur améliore non seulement la fiabilité du processus et la qualité du produit dans le processus de croissance épitaxiale, mais fournit également une solution rentable pour la fabrication de semi-conducteurs.

Revêtement en carbure de tantale sur une section transversale microscopique:

Propriétés physiques du porte-revêtement TAC CVD:

Vetek Semiconductor CVD SIC Coating Production Shop: