Revêtement CVD TAC

Le revêtement TAC CVD (dépôt chimique de vapeur de vapeur de carbure de carbure de tantale) est un produit de revêtement principalement composé de carbure de tantale (TAC). Le revêtement TAC a une dureté extrêmement élevée, une résistance à l'usure et une résistance à haute température, ce qui en fait un choix idéal pour protéger les composants de l'équipement clés et améliorer la fiabilité du processus. Il s'agit d'un matériau indispensable dans le traitement des semi-conducteurs.

Les produits CVD TaC Coating sont généralement utilisés dans les chambres de réaction, les supports de tranches et les équipements de gravure, et y jouent les rôles clés suivants.

Le revêtement CVD TaC est souvent utilisé pour les composants internes des chambres de réaction tels que les substrats, les panneaux muraux et les éléments chauffants. Combiné à son excellente résistance aux hautes températures, il peut résister efficacement à l'érosion des gaz et du plasma corrosifs à haute température, prolongeant ainsi efficacement la durée de vie de l'équipement et assurant la stabilité du processus et la pureté de la production du produit.

De plus, les porteurs de plaquettes enduits de TAC (tels que les bateaux en quartz, les luminaires, etc.) ont également une excellente résistance à la chaleur et une résistance à la corrosion chimique. Le porte-plaquette peut fournir un support fiable pour la tranche à des températures élevées, empêcher la contamination et la déformation de la tranche, et ainsi améliorer le rendement global de la puce.

De plus, le revêtement TAC de Vetek Semiconductor est également largement utilisé dans divers équipements de gravure et de dépôt à couches minces, tels que les gravures plasmatiques, les systèmes de dépôt de vapeur chimique, etc. Dans ces systèmes de traitement, le revêtement TAC CVD peut résister à la bombardement d'ions à haute énergie et à de fortes réactions chimiques de fortes réactions chimiques à haute énergie et à de fortes réactions chimiques à haute énergie et à de fortes réactions chimiques à haute énergie et à de fortes réactions chimiques à haute énergie et à de fortes réactions chimiques à haute énergie et à de puissantes réactions chimiques à haute énergie et à de fortes réactions chimiques à haute énergie et à de puissantes réactions chimiques à haute énergie, , assurant ainsi la précision et la répétabilité du processus.

Quelles que soient vos exigences spécifiques, nous trouverons la meilleure solution pour vos besoins en matière de revêtement CVD TAC et attendons avec impatience votre consultation à tout moment.

Magasins de produits de revêtement CVD TAC VeTek Semiconductor :

Aperçu de la chaîne industrielle de l’épitaxie des puces semi-conductrices :