TAC ROTATION ROTATION SUSCEUR

Le suscepteur de rotation de revêtement TAC semi-conducteur VETEK est un composant clé pour la manipulation des plaquettes dans le traitement des semi-conducteurs. C'estTac quoiNotreA une excellente tolérance à haute température (point de fusion jusqu'à 3880 ° C), une stabilité chimique et une résistance à la corrosion, qui garantissent une précision élevée et une haute qualité dans le traitement des plaquettes.

Le suscepteur de rotation du revêtement TAC (Suscepteur de rotation du revêtement en carbone en tantale) est un composant d'équipement clé utilisé dans le traitement des semi-conducteurs. Il est généralement installé dansDépôt de vapeur chimique (CVD)et l'équipement d'épitaxie du faisceau moléculaire (MBE) pour soutenir et faire tourner les plaquettes pour assurer un dépôt uniforme des matériaux et une réaction efficace. Ce type de produit améliore considérablement la durée de vie et les performances de l'équipement dans des environnements à haute température et corrosifs en enrobant le substrat avecrevêtement en carbone de tantale (TAC).

Le suscepteur de rotation du revêtement TAC est généralement composé de revêtement TAC et de carbure de graphite ou de silicium comme matériau de substrat. Le TAC est un matériau en céramique à ultra-haute température avec un point de fusion extrêmement élevé (point de fusion jusqu'à 3880 ° C), la dureté (la dureté Vickers est d'environ 2000 HK) et une excellente résistance à la corrosion chimique. Le semi-conducteur de Vetek peut couvrir efficacement et uniformément le revêtement de carbone de tantale sur le matériau du substrat via la technologie CVD.

Le suscepteur de rotation est généralement composé de conductivité thermique élevée et de matériaux à haute résistance (graphite oucarbure de silicium), ce qui peut fournir un bon support mécanique et une stabilité thermique dans des environnements à haute température. La combinaison parfaite des deux détermine les performances parfaites du suscepteur de rotation de revêtement TAC dans les tranches de support et de rotation.

Le suscepteur de rotation du revêtement TAC supporte et tourne la tranche dans le processus de MCV. La dureté Vickers du TAC est d'environ 2000 HK, ce qui lui permet de résister à la friction répétée du matériau et de jouer un bon rôle de soutien, garantissant ainsi que le gaz de réaction est réparti uniformément sur la surface de la plaquette et que le matériau est uniformément déposé. Dans le même temps, la tolérance à haute température et la résistance à la corrosion du revêtement TAC permettent de l'utiliser pendant une longue période dans des atmosphères à haute température et corrosives, ce qui évite efficacement la contamination de la tranche et du support.

De plus, la conductivité thermique du TAC est de 21 w / m · k, qui a un bon transfert de chaleur. Par conséquent, le suscepteur de rotation de revêtement TAC peut chauffer la tranche uniformément dans des conditions de température élevée et assurer l'uniformité du processus de dépôt de gaz par mouvement de rotation, maintenant ainsi la cohérence et la haute qualité decroissance de la tranche.

Enrobage de carbure de tantale (TAC) sur une section transversale microscopique：

Propriétés physiques du revêtement TAC：

TAC ROTATION ROTATION SUSNEPROR: