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Anneau de guide en carbure de tantale
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Anneau de guide en carbure de tantale

Vetek Semiconductor est un fabricant professionnel et chef de file du Tantalum Carbide Guide Ring Products en Chine. Notre anneau de guidage en carbure de tantale (TAC) est un composant de cycle haute performance en carbure de tantale, qui est couramment utilisé dans l'équipement de traitement des semi-conducteurs, en particulier dans les environnements à haute température et hautement corrosifs tels que CVD, PVD, gravure et diffusion. Vetek Semiconductor s'engage à fournir des technologies de pointe et des solutions de produits pour l'industrie des semi-conducteurs et se félicite de vos autres demandes.

It semi-conducteurGuide de carbure de tantale Ringest fabriqué à partir degraphiteetEnrobé de carbure de tantale, une combinaison qui tire parti des meilleures propriétés des deux matériaux pour assurer des performances et une longévité supérieures.


LeRevêtement TACSur l'anneau de guidage en carbure de tantale garantit qu'il reste chimiquement inerte dans les atmosphères réactives des fours de croissance cristalline SIC, qui impliquent souvent des gaz tels que l'hydrogène, l'argon et l'azote. Cette inertie chimique est vitale pour empêcher toute contamination du cristal croissant, ce qui pourrait entraîner des défauts et une réduction des performances des produits semi-conducteurs finaux. De plus, la stabilité thermique fournie par le revêtement TAC permet à l'anneau de guide de revêtement en carbure de tantale de fonctionner efficacement à des températures élevées requises pourCroissance des cristaux SIC, dépassant généralement 2000 ° C.


De plus, la combinaison de graphite et de TAC dans le cycle de revêtement en carbure de tantale optimise la gestion thermique dans le four à croissance cristalline. La conductivité thermique élevée du graphite distribue efficacement la chaleur, empêchant les points chauds et favorisant la croissance des cristaux uniformes. Pendant ce temps, le revêtement en carbure de tantale sert de barrière thermique, protégeant le noyau du graphite de l'exposition directe à des températures élevées et à des gaz réactifs. Cette synergie entre le noyau et les matériaux de revêtement se traduit par un anneau de guidage qui non seulement résiste aux conditions difficiles de la croissance des cristaux SIC, mais améliore également l'efficacité globale et la qualité du processus.


Les propriétés mécaniques du carbure de tantalum semi-conducteur Vetek réduisent considérablement l'usure sur l'anneau de revêtement en carbure de tantale. Ceci est crucial en raison de la nature répétitive duprocessus de croissance cristalline, qui expose l'anneau de guidage aux cycles thermiques fréquents et aux contraintes mécaniques. La résistance à la dureté et à l'usure du carbure de tantale garantit que l'anneau de guidage maintient son intégrité structurelle et ses dimensions précises sur de longues périodes, minimisant le besoin de remplacements fréquents et réduisant les temps d'arrêt dans le processus de fabrication.


Voirk semi-conducteur en tant que guide de revêtement de revêtement en carbure de carbure est un élément essentiel de l'industrie des semi-conducteurs, spécialement conçu pour la croissance deCristaux en carbure de silicium. Son design exploite les forces du graphite et du carbure de tantale pour offrir des performances exceptionnelles dans des environnements à haute température et stress élevés. Le revêtement TAC assure une inertie chimique, une durabilité mécanique et une stabilité thermique, qui sont toutes essentielles pour produire des cristaux SIC de haute qualité. En maintenant son intégrité et ses fonctionnalités dans des conditions extrêmes, l'anneau de guidage soutient la croissance efficace et sans défaut des cristaux SIC, contribuant à l'avancement des dispositifs semi-conducteurs haute puissance et haute fréquence.


Enrobage de carbure de tantale (TAC) sur une section transversale microscopique:


Tantalum carbide (TaC) coating on a microscopic cross-section 1Tantalum carbide (TaC) coating on a microscopic cross-section 2Tantalum carbide (TaC) coating on a microscopic cross-section 3Tantalum carbide (TaC) coating on a microscopic cross-section 4


Propriétés physiques du revêtement TAC:


Propriétés physiques du revêtement TAC
Densité
14.3 (g / cm³)
Émissivité spécifique
0.3
Coefficient de dilatation thermique
6.3 * 10-6/ K
Dureté (HK)
2000 HK
Résistance
1 × 10-5Ohm * cm
Stabilité thermique
<2500 ℃
Modifications de la taille du graphite
-10 ~ -20UM
Épaisseur de revêtement
Valeur typique ≥20UM (35UM ± 10UM)

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