Des produits

Le mandrin en céramique sic poreux de VeteKemicon est une plate-forme à vide de précision conçue pour une manipulation sécurisée et sans plaquette de particules dans des processus avancés de semi-conducteurs tels que la gravure, l'implantation ionique, le CMP et l'inspection. Fabriqué à partir de carbure de silicium poreux de haute pureté, il offre une conductivité thermique exceptionnelle, une résistance chimique et une résistance mécanique. Avec des tailles et des dimensions de pores personnalisables, VeteKseMicon fournit des solutions sur mesure pour répondre aux exigences strictes des environnements de traitement de la plaquette blanche.

Nos bateaux à plate-forme en quartz sont une solution de porteuse de plaquettes de haute pureté adaptée aux processus de fabrication de semi-conducteurs, de LED, de cellules solaires et de batterie. Issue pour supporter des températures élevées et des environnements chimiquement agressifs, ce bateau en quartz propose une faible extension thermique, une excellente isolation électrique et une stabilité dimensionnelle à long terme. Idéal pour la diffusion, l'oxydation et les processus LPCVD, il prend en charge un alignement précis des plaquettes et est disponible en différentes tailles pour répondre aux différentes exigences de l'équipement.

Les pagaies en porte-à-faux VetekSemicon SIC sont des bras de support en carbure de silicium de haute pureté conçus pour la manipulation des plaquettes dans les fours de diffusion horizontaux et les réacteurs épitaxiaux. Avec une conductivité thermique exceptionnelle, une résistance à la corrosion et une résistance mécanique, ces pagaies assurent la stabilité et la propreté dans les environnements semi-conducteurs exigeants. Disponible en tailles personnalisées et optimisé pour une durée de vie à long terme.

Le bloc SIC de VetekSemicon est conçu pour le broyage à haute efficacité et l'amincissement des tranches de silicium et de saphir. Avec une excellente conductivité thermique (≥120 W / m · K), une résistance élevée aux chocs thermiques et une résistance à l'usure supérieure (MOHS ≥9), nos blocs améliorent la stabilité du processus et réduisent la fréquence des changements d'outils. Disponible en tailles de 120 mm à 480 mm, avec des options personnalisées et une livraison rapide pour répondre à divers besoins de production.

Le support de plaquette de revêtement en carbure de silicium par VeteKemicon est conçu pour la précision et les performances dans les processus avancés de semi-conducteurs tels que le MOCVD, le LPCVD et le recuit à haute température. Avec un revêtement SIC CVD uniforme, ce support de plaquette assure une conductivité thermique exceptionnelle, une inertie chimique et une résistance mécanique - essentiel pour le traitement de plaquette à haut rendement sans contamination.

Anneaux de bord SIC VetekSeMICON à haute pureté, spécialement conçus pour l'équipement de gravure semi-conducteur, comporte une résistance à la corrosion exceptionnelle et une stabilité thermique, améliorant considérablement le rendement de la plaquette