Pommeau de douche en graphite recouvert de carbure de silicium CVD (SiC)

Principales fonctionnalités

• Ultra‑haute pureté – Le revêtement SiC scelle complètement le graphite, donc pas de dégazage ni de contamination métallique.

• Excellente distribution du gaz – Chaque pomme de douche est usinée pour fournir une vitesse de gaz constante sur toute la tranche.

• Résistance supérieure à la corrosion – CVD SiC ne réagit pas avec les halogènes ou les résidus de processus. Il dure beaucoup plus longtemps que le graphite ou le quartz nu.

• Performance thermique exceptionnelle – Le revêtement correspond étroitement à la dilatation thermique du graphite, donc pas de fissure lors de rampes de température rapides.

• Fabrication de précision – Nous utilisons l'usinage CNC et le revêtement CVD en interne. Les diamètres et les modèles de trous sont soumis à des tolérances strictes.

Spécifications techniques

Applications

Ces pommes de douche sont utilisées dans :

• Systèmes CVD de semi-conducteurs (production et R&D)

• Équipement PECVD – diélectriques basse température

• Réacteurs MOCVD – composés III‑V comme GaN, InP

• Épitaxie de silicium (Si Epi) – pour les dispositifs de puissance et CMOS

• Épitaxie SiC – électronique de puissance haute tension

• Fabriques de semi-conducteurs composés

• Emballage avancé (par exemple, dépôt de revêtement TSV)

• Tout outil à couche mince nécessitant un distributeur de gaz de haute pureté résistant à la corrosion

Pourquoi choisir VETEK ?

• Nous ne sommes pas une société commerciale. Tout – de l’usinage du graphite au revêtement final CVD SiC – est réalisé en interne. Cela signifie que nous contrôlons la qualité, les délais et les coûts.

• Fabrication entièrement en interne – pas de surprises en matière d'externalisation

• Technologie de revêtement avancée – CVD SiC dense et sans piqûre

• Assistance technique personnalisée : envoyez-nous le dessin de votre pomme de douche ou simplement le modèle de réacteur.

• Chaîne d'approvisionnement fiable en semi-conducteurs : nous fournissons des usines de fabrication et des équipementiers depuis des années.

• Vous n'avez pas besoin de requalifier une nouvelle conception à chaque fois. Nous avons déjà enduit des pommes de douche pour de nombreuses plateformes courantes (AMAT, TEL, LAM, ASM, etc.).