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Si vous avez déjà été confronté à un débit de gaz irrégulier ou à une contamination par des particules dans une chambre de dépôt, la pomme de douche en graphite à revêtement SiC CVD VETEK est conçue pour résoudre ce problème. Il commence par du graphite isostatique de haute pureté pour une stabilité thermique et un usinage facile, puis obtient un revêtement dense en carbure de silicium (SiC) CVD qui scelle la surface, résiste aux gaz corrosifs (comme le HCl ou le NF₃) et empêche le dégazage. Le résultat est une plaque de distribution de gaz qui fournit un flux uniforme à travers la tranche, gère l'épitaxie à haute température et dure beaucoup plus longtemps que le graphite nu ou le quartz, ce qui en fait un composant de confiance pour les processus CVD, PECVD, MOCVD, épitaxie silicium et épitaxie SiC. Nous proposons également des modèles et des tailles de trous personnalisés, car il n'y a pas deux réacteurs exactement identiques.

La poudre de carbure de silicium (SiC) de haute pureté VeTek Semiconductor est spécialement développée pour la croissance des cristaux SiC, les matériaux semi-conducteurs et les applications céramiques avancées. Grâce à une technologie de purification avancée et à un contrôle qualité strict, notre poudre SiC offre des niveaux d'impuretés ultra faibles, une distribution stable des particules et une excellente cohérence pour les processus de fabrication exigeants.

Dans les installations de croissance cristalline SiC PVT, les pièces en graphite fonctionnent à des températures très élevées pendant de longues périodes. L'anneau en graphite revêtu de PyC de VeTek est conçu pour ce genre de tâche. Une couche de carbone pyrolytique est déposée sur du graphite de haute pureté par CVD. Cela donne à la pièce une meilleure stabilité de surface et moins de particules se détachent pendant le fonctionnement. Vous le placez généralement dans la zone du champ thermique pour aider à gérer le flux de vapeur et la façon dont la chaleur se propage à l'intérieur du four. Le revêtement ralentit également la sublimation du graphite lorsque la température dépasse 2 200 °C, ce qui prolonge la durée de vie de l'ensemble du composant.

Conçue pour entourer la zone de suivi de la tranche, la bague de mise au point en SiC solide assure une distribution linéaire du plasma et des profils de gravure précis bord à centre. Ces composants β-SiC haut de gamme sont construits par Vetek Semiconductor (Wuyi Tianyao New Material Technology Co., LTD) à l'aide de la technologie exclusive de dépôt chimique en phase vapeur (CVD). En vaporisant les matières premières dans une matrice dense et sans liant, Vetek élimine les micro-interstices poreux courants dans les matériaux plus anciens. Par rapport au blindage standard en quartz ou en silicium, nos composants CVD SiC résistent bien mieux aux gaz halogènes corrosifs, protégeant la plaquette dans une logique profonde inférieure à 7 nm et une fabrication de puces mémoire denses. Dans l'attente de votre demande plus approfondie.

Cette broche de levage de plaquette AMAT 0200-03201 de VeTek commence avec du graphite de haute pureté, puis nous ajoutons un revêtement dense CVD SiC sur le dessus. Il est conçu pour les systèmes d’épitaxie de 300 mm et les réacteurs Applied Materials EPI. Pourquoi le graphite et le SiC ? Le graphite supporte très bien la chaleur. La couche de SiC absorbe les gaz corrosifs et ne s’use pas rapidement. La conception à paroi fine ? Cela permet un levage et un positionnement plus propres des plaquettes, moins de particules et une durée de vie plus longue des pièces à haute température. Nous fabriquons également des pièces similaires en graphite revêtues de SiC pour les systèmes ASM, Aixtron et LPE. Dans l'attente de votre demande.

Vetek Semiconductor fabrique des supports de tranches pour les systèmes VEECO MOCVD, spécialement conçus pour les travaux d'épitaxie LED tels que les LED GaN, les LED bleu-vert et la croissance de LED UV profondes. Ces supports commencent par du graphite de haute pureté et reçoivent un revêtement dense en carbure de silicium (SiC) CVD. Cette combinaison résiste bien aux températures élevées que vous voyez dans le MOCVD : bonne stabilité thermique, résistance à la corrosion et le revêtement dure.