Des produits

La pomme de douche en quartz, également connue sous le nom de plaque de distribution de gaz en quartz, est un composant critique utilisé dans les processus de dépôt de couches minces semi-conducteurs tels que les MCV (dépôt chimique de vapeur), PECVD (CVD amélioré en plasma) et Ald (dépôt de couche atomique). Fabriqué à partir de quartz fusionné de haute pureté, ce composant garantit une contamination ultra-bas et une excellente stabilité thermique, permettant une livraison précise de gaz et une croissance uniforme du film à travers la surface de la plaquette. Dans l'attente de votre nouvelle consultation.

Nos anneaux de guide de graphite enduit de TAC sont des composants de central de précision pour la fabrication de plaquettes semi-conductrices. Ils présentent un substrat de graphite de haute pureté recouvert d'un revêtement en carbure de tantale résistant à l'usure et chimiquement inerte (TAC). Conçus pour des processus exigeants tels que le dépôt épitaxial et la gravure du plasma, ils assurent un alignement et une stabilité précis, contrôler efficacement la contamination et prolonger considérablement la durée de vie des composants. VetekSeMICON propose des services de personnalisation pour correspondre parfaitement à vos besoins en équipement et en processus.

L'écran de quartz semi-conducteur de VetekSeMICON est un composant vital dans les systèmes de dépôt chimique de vapeur (MOCVD) en métal-organique (MOCVD), jouant un rôle crucial dans l'optimisation des processus de croissance des couches minces. Cette page de détail du produit met en évidence les écrans de quartz de haute pureté de VetekSEMICON, conçus pour améliorer l'uniformité, la pureté et l'efficacité de maintenance de l'équipement MOCVD.

Le creuset de quartz à haute pureté est un composant central essentiel dans les processus avancés de fabrication de semi-conducteurs, en particulier pour les applications qui nécessitent une stabilité thermique extrêmement élevée, une pureté chimique et une précision dimensionnelle. Veteksemicon propose des creusets de quartz de haute pureté supérieurs conçus pour répondre aux exigences extrêmes des processus semi-conducteurs.

Le mandrin en céramique sic poreux de VeteKemicon est une plate-forme à vide de précision conçue pour une manipulation sécurisée et sans plaquette de particules dans des processus avancés de semi-conducteurs tels que la gravure, l'implantation ionique, le CMP et l'inspection. Fabriqué à partir de carbure de silicium poreux de haute pureté, il offre une conductivité thermique exceptionnelle, une résistance chimique et une résistance mécanique. Avec des tailles et des dimensions de pores personnalisables, VeteKseMicon fournit des solutions sur mesure pour répondre aux exigences strictes des environnements de traitement de la plaquette blanche.

Nos bateaux à plate-forme en quartz sont une solution de porteuse de plaquettes de haute pureté adaptée aux processus de fabrication de semi-conducteurs, de LED, de cellules solaires et de batterie. Issue pour supporter des températures élevées et des environnements chimiquement agressifs, ce bateau en quartz propose une faible extension thermique, une excellente isolation électrique et une stabilité dimensionnelle à long terme. Idéal pour la diffusion, l'oxydation et les processus LPCVD, il prend en charge un alignement précis des plaquettes et est disponible en différentes tailles pour répondre aux différentes exigences de l'équipement.