Anneau de graphite recouvert de carbone pyrolytique (PyC)

Dans les installations de croissance cristalline SiC PVT, les pièces en graphite fonctionnent à des températures très élevées pendant de longues périodes. L'anneau en graphite revêtu de PyC de VeTek est conçu pour ce genre de tâche. Une couche de carbone pyrolytique est déposée sur du graphite de haute pureté par CVD. Cela donne à la pièce une meilleure stabilité de surface et moins de particules se détachent pendant le fonctionnement. Vous le placez généralement dans la zone du champ thermique pour aider à gérer le flux de vapeur et la façon dont la chaleur se propage à l'intérieur du four. Le revêtement ralentit également la sublimation du graphite lorsque la température dépasse 2 200 °C, ce qui prolonge la durée de vie de l'ensemble du composant.