Bateau graphite PECVD

VetekSemicon est un fabricant et fournisseur professionnel de bateaux en graphite de Chine PECVD.

Quel est le rôle du bateau à graphite PECVD de la cellule solaire (revêtement) de la cellule solaire (revêtement)?

En tant que porte-avions de tranches de silicium normales produites par le processus de revêtement, le bateau en graphite a de nombreuses plateaux de bateau avec certains intervalles dans la structure, et il y a un espace très étroit entre les deux plaquettes de bateau adjacentes, et les tranches de silicium sont placées des deux côtés de la porte vide.

Parce que le matériau de bateau en graphite PECVD Graphite a de bonnes propriétés de conductivité électrique et thermique, la tension CA est demandée dans les deux bateaux adjacents, de sorte que les deux bateaux adjacents forment des poteaux positifs et négatifs, lorsqu'il y a une certaine pression et des gaz dans la chambre, le gaz lumineux se produit entre les deux bateaux, la décharge de lueur peut décomposer le SIH4 et le gaz NH3 dans l'espace, en formant SI et Nions. Des molécules Sinx sont formées et déposées à la surface de la tranche de silicium pour atteindre le but du revêtement.

Les bateaux en graphite PECVD sont généralement utilisés comme porteurs pour transporter des plaquettes de silicium ou d'autres matériaux pour assurer une manipulation et un transport sûr de ces matériaux dans des environnements à haute température et à plasma. Par exemple, dans le processus de fabrication de semi-conducteurs, les bateaux de graphite PECVD de VetekSemicon sont conçus pour les processus de dépôt chimique de vapeur en plasma amélioré. Le bateau en graphite joue le rôle de dépôt de couches de passivation de nitrure de silicium (SINₓ) et de films constants diélectriques faibles (basse-k).

Dans le champ photovoltaïque, les bateaux de graphite PECVD sont utilisés pour préparer des cellules solaires à couches minces à base de silicium (telles que les couches de passivation des cellules percales amorphes. Le bateau en graphite PECVD de VetekSemicon optimise le processus de revêtement en espaçant efficacement les plaquettes de silicium et en induisant une décharge de lueur pour obtenir un dépôt de revêtement uniforme.

Plus important encore, VetekSeMICON peut fournir des produits et des services techniques personnalisés, et peut concevoir et fabriquer des produits de bateau graphite de différentes spécifications en fonction de vos exigences réelles du processus. Nous sommes sincèrement impatients de devenir votre partenaire à long terme.

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