Qu'est-ce qu'un bateau graphite PECVD?

Ⅰ. Quel est le matériau du bateau graphite PECVD?

Le matériau de base deBateau graphite PECVD(Boat de graphite de vapeur chimique amélioré en plasma) est fait de haute puretéMatériau de graphite isotrope(La pureté est généralement ≥99,999%) et est modifiée par des processus spéciaux (tels que le dépôt de vapeur chimique CVD ou le revêtement de surface). Le graphite de haute pureté est largement utilisé dans les systèmes PECVD en raison de son excellente conductivité électrique et de sa conductivité thermique élevée (80 ~ 150 W / m · K). CeMatériau en graphite de haute puretéPeut maintenir une bonne stabilité structurelle et une stabilité chimique dans des environnements à haute température, et peut résister à la corrosion des gaz réactifs et du plasma.

Ⅱ. Quelles sont les propriétés physiques du bateau en graphite?

Les propriétés physiques des bateaux en graphite PECVD comprennent:

● Conductivité électrique: Le graphite isostatique a une excellente conductivité électrique, ce qui lui permet de gérer efficacement l'énergie électrique et de favoriser la génération et le maintien du plasma pendant le processus PECVD.

●  Conductivité thermique: La conductivité thermique élevée du graphite (environ 80 ~ 150 w / m · k) aide à maintenir un environnement de température stable pendant le processus PECVD et à assurer un dépôt uniforme de films minces.

●  Densité: La densité du graphite polycristallin commercial varie de 1,30 g / cm³ à 1,88 g / cm³. Plus la densité est élevée, meilleures sont les propriétés physiques et mécaniques, ce qui peut améliorer la durée de vie du produit.

Ⅲ. Quels sont les avantages du bateau en graphite PECVD par rapport au bateau en graphite ordinaire?

Par rapport aux bateaux en graphite ordinaires, les bateaux en graphite PECVD présentent les avantages suivants:

Ⅳ. Pourquoi choisir le bateau graphite PECVD de VetekSemicon?

Comme nous le savons tous, Veteksemicon est un fabricant et fournisseur de premier plan de produits de revêtement semi-conducteur etProduits de graphiteen Chine. NotreBateaux de graphite pecvdsont principalement utilisés dans les industries semi-conducteurs et photovoltaïques, en particulier dans les processus PECVD et CVD.

Les bateaux en graphite sont généralement utilisés comme transporteurs pour transporter des plaquettes de silicium ou d'autres matériaux pour assurer une manipulation et un transport sûr de ces matériaux dans des environnements à haute température et à plasma. Par exemple, dans le processus de fabrication de semi-conducteurs, les bateaux de graphite PECVD de VetekSemicon sont conçus pour les processus de dépôt chimique de vapeur en plasma amélioré. Le bateau en graphite joue le rôle de dépôt de couches de passivation de nitrure de silicium (SINₓ) et de films constants diélectriques faibles (basse-k).

Dans le champ photovoltaïque, les bateaux de graphite PECVD sont utilisés pour préparer des cellules solaires à couches minces à base de silicium (telles que les couches de passivation des cellules percales amorphes. Le bateau en graphite PECVD de VetekSemicon optimise le processus de revêtement en espaçant efficacement les plaquettes de silicium et en induisant une décharge de lueur pour obtenir un dépôt de revêtement uniforme.

Plus important encore, VetekSeMICON peut fournir des produits et des services techniques personnalisés, et peut concevoir et fabriquer des produits de bateau graphite de différentes spécifications en fonction de vos exigences réelles du processus. Choisir VeteKeMicon signifie choisir un leader de l'industrie avec une forte force dans les industries semi-conducteurs et photovoltaïques. Nous sommes sincèrement impatients de devenir votre partenaire à long terme.