Récepteur à disque en graphite

Vetek Semiconductor's Graphite Disc Suscepteur, un produit haute performance pour les processus de fabrication avancés de semi-conducteurs. Notre Graphite Disc Sondor est conçu pour répondre aux exigences exigeantes de l'industrie et fournir des performances et une fiabilité exceptionnelles. Ce suscepteur de disque graphite est OEM pour la plate-forme de réacteur planétaire AIX G5.

Le GaN-on-Si MOCVD est utilisé pour la production épitaxiale de LED, et le réacteur Aixtron G5 améliore le rendement et l'uniformité de la plateforme MOCVD. Un motif uniforme symétrique entièrement tourné sur cinq tranches de 200 mm, utilisant un substrat de silicium d'épaisseur standard et contrôlant le comportement de flexion des tranches, a formalisé ce dont ils avaient besoin pour la fabrication du silicium.

Suscepteur à disque en graphite de haute pureté de Vetek Semiconductor pour GaN-on-Si MOCVD, une solution fiable et rentable pour les processus avancés de fabrication de semi-conducteurs.

Notre suscepteur à disque en graphite de haute pureté est spécialement conçu pour répondre aux exigences des processus GaN-on-Si MOCVD. Grâce à sa stabilité thermique et sa résistance à la chaleur exceptionnelles, il peut résister à des conditions de température exigeantes allant généralement de 800°C à 1 100°C, garantissant des performances optimales pendant le processus de dépôt.

Le matériau de graphite de haute pureté utilisé dans notre discours DISC offre une excellente résistance chimique, ce qui le rend compatible avec l'ammoniac (NH3) et les précurseurs de métaux organiques couramment utilisés dans le GAn-on-Si MOCVD. Cela élimine le besoin de supplémentRevêtements SiC, réduisant les coûts de production sans compromettre les performances.

Le suscepteur du disc graphite de haute pureté de Vetek Semiconductor offre une solution rentable sans compromettre la qualité. Sa fiabilité, sa durabilité et sa compatibilité avec les processus Gan-on-Si MOCVD en font le choix préféré pour les fabricants de semi-conducteurs. Faites confiance à Vetek Semiconductor pour fournir des suscepteurs de disques graphites à haute performance pour vos besoins de fabrication Gan-on-Si MOCVD.