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Carrier SIC SIC
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Carrier SIC SIC

Le support de plaquette SIC solide de Vetek Semiconductor est conçu pour des environnements à haute température et résistants à la corrosion dans les processus épitaxiaux semi-conducteurs et convient à tous les types de processus de fabrication de plaquettes avec des exigences de grande pureté. VETEK Semiconductor est un fournisseur de porte-gigantes en Chine de premier plan en Chine et a hâte de devenir votre partenaire à long terme dans l'industrie des semi-conducteurs.

Le porte-plaquette SIC solide est un composant fabriqué pour le processus épitaxial à haute température, haute pression et corrosif du processus épitaxial semi-conducteur, et convient à divers processus de fabrication de plaquettes avec des exigences de grande pureté. 


Le porte-plaquette SIC solide recouvre le bord de la tranche, protège la tranche et le positionne avec précision, garantissant la croissance des couches épitaxiales de haute qualité. Les matériaux SIC sont largement utilisés dans des processus tels que l'épitaxie en phase liquide (LPE), le dépôt de vapeur chimique (CVD) et le dépôt de vapeur organique métallique (MOCVD) en raison de leur excellente stabilité thermique, de leur résistance à la corrosion et de leur conductivité thermique exceptionnelle. Le porte-plaquette SIC solide de Vetek Semiconductor a été vérifié dans de multiples environnements difficiles et peut assurer efficacement la stabilité et l'efficacité du processus de croissance épitaxiale de la tranche.


Vapor-phase epitaxial growth method


Le porte-gigantesCaractéristiques du produit


● Stabilité à ultra-haute températureLes porteurs de plaquettes SIC solides peuvent rester stables à des températures allant jusqu'à 1500 ° C et ne sont pas sujets à la déformation ou à la fissuration.


● Excellente résistance à la corrosion chimiqueEn utilisant des matériaux de carbure de silicium de haute pureté, il peut résister à la corrosion de divers produits chimiques, notamment des acides forts, des alcalis puissants et des gaz corrosifs, prolongeant la durée de vie du porte-avion.

● Haute conductivité thermiqueLes porteurs de plaquettes SIC solides ont une excellente conductivité thermique et peuvent disperser rapidement et uniformément la chaleur pendant le processus, aidant à maintenir la stabilité de la température de la plaquette et à améliorer l'uniformité et la qualité de la couche épitaxiale.


● Faible génération de particulesLes matériaux SIC ont une caractéristique naturelle de génération de particules naturels, ce qui réduit le risque de contamination et peut répondre aux exigences strictes de l'industrie des semi-conducteurs pour une grande pureté.


Spécifications techniques:


Paramètre Description
Matériel
Carbure de silicium solide de haute pureté
Taille de plaquette applicable
4 pouces, 6 pouces, 8 pouces, 12 pouces (personnalisables)
Tolérance à la température maximale
Jusqu'à 1500 ° C
Résistance chimique
Résistance à l'acide et aux alcalis, résistance à la corrosion au fluor
Conductivité thermique
250 w / (m · k)
Taux de génération de particules
Génération de particules ultra-bas, adaptée aux exigences de haute pureté
Options de personnalisation
La taille, la forme et les autres paramètres techniques peuvent être personnalisés selon les besoins

Pourquoi choisirIt semi-conducteurAnneau de support de substrat SIC SIC Wafer?


● Fiabilité: Après des tests rigoureux et une vérification réelle par les clients finaux, il peut fournir un soutien à long terme et stable dans des conditions extrêmes et réduire le risque d'interruption de processus.


● Matériaux de haute qualité: Fabriqué sur les matériaux SIC de la plus haute qualité, assurez-vous que chaque transporteur de plaquettes SIC solide répond aux normes élevées de l'industrie.


● Service de personnalisation: Prise en charge de la personnalisation des spécifications multiples et des exigences techniques pour répondre aux besoins spécifiques du processus.


Si vous avez besoin de plus d'informations sur les produits ou pour passer une commande, veuillez nous contacter. Nous fournirons une consultation professionnelle et des solutions en fonction de vos besoins spécifiques pour vous aider à améliorer l'efficacité de la production et à réduire les coûts de maintenance.


Boutiques de produits SIC SIC Wafer Carrier:

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