Bouclier et obturateur en quartz opaque de haute pureté pour MOCVD

1. Spécifications techniques

Nous réalisons un usinage de haute précision basé sur vos dessins techniques pour garantir une adéquation parfaite avec vos modèles d’équipements spécifiques.

2. Domaines d'application principaux

● Protection des processus MOCVD: Servir de boucliers/doublures internes essentiels pour protéger l’environnement de réaction.

● Epitaxie de semi-conducteurs: Utilisé comme obturateur de haute précision pour la stabilisation du débit et de la température pendant la croissance de couches minces.

● Fabrication de semi-conducteurs à large bande interdite: Compatible avec les environnements à forte demande pour GaN et autres matériaux avancés.

3. Pourquoi choisir les solutions VETEK Quartz ?

● Gestion supérieure du rayonnement thermique: Notre quartz blanc laiteux contient une haute densité de microbulles qui dispersent et bloquent efficacement le rayonnement thermique à haute température (>1000°C). Il absorbe la lumière visible et proche infrarouge des éléments chauffants et la convertit en rayonnement infrarouge lointain, assurant ainsi un chauffage très uniforme.
● Contrôle de la contamination et entretien facile: En tant que revêtement intérieur sacrificiel ou remplaçable, le Quartz Shield maintient la chambre de réaction propre en empêchant le dépôt de sous-produits sur les parois et les radiateurs coûteux de la chambre. Ces pièces peuvent être régénérées par nettoyage humide (comme les solutions SPM+DHF) ou facilement remplacées pour garantir des rendements élevés en tranches.
● Résistance chimique extrême: Le quartz VETEK est conçu pour résister à des cycles thermiques fréquents et à la corrosion causée par les composés organiques métalliques (comme le TMGa) et les hydrures (comme l'AsH₃).
● Contrôle de processus de précision: Nos volets en quartz maintiennent une stabilité dimensionnelle élevée sous chauffage infrarouge ou à filament. Leur faible inertie thermique permet une réponse mécanique rapide, permettant un contrôle précis de la croissance au « niveau atomique » et empêchant la contamination croisée lors d'une commutation multi-wafers ou multi-processus.
● Alternative rentable: Pour les projets ayant des exigences budgétaires strictes, nos produits à quartz constituent un point d'entrée fiable par rapport au graphite revêtu, offrant une protection et des fonctionnalités essentielles pour les systèmes MOCVD.