Comment choisir le plateau de graphite MOCVD?

Question 1: Qu'est-ce que le plateau de graphite MOCVD et pourquoi est-il si important pour le processus épitaxial?

La plaque de graphite de vapeur chimique en métal-organique (MOCVD), également connu sous le nom de plateau de graphite MOCVD ou suscepteur de graphite MOCVD, est un composant de haute pureté utilisé pour fixer des plaquettes semi-conductrices pendant la croissance épitaxiale. Dans le processus épitaxial, il agit comme un élément chauffant et assure une distribution de température uniforme, qui joue un rôle irremplaçable dans le dépôt de films minces dans des applications telles que les dispositifs semi-conducteurs avancés, la fabrication LED et les cellules solaires.

Le plateau en graphite peut résister à des températures extrêmes (jusqu'à 1800 ° C) et à des environnements de gaz corrosifs, ce qui en fait un matériau indispensable pour les systèmes MOCVD résistants à la corrosion à haute température. Ses performances affectent directement la cohérence des processus et le rendement des plaquettes.

Question 2: Quelles propriétés de matériaux doivent être prioritaires lors de la sélection des plateaux de graphite MOCVD?

La sélection de la bonne plaque de graphite nécessite d'évaluer ses propriétés physiques et chimiques:

● Haute pureté (plus de 99,999%):

En règle générale, des impuretés telles que les métaux ou les cendres peuvent contaminer le processus épitaxial. Le choix d'un fournisseur de suscepteur de graphite de haute pureté tel que VeteKemicon assure un minimum de défauts dans l'épilayer semi-conducteur.

●  Excellente stabilité thermique:

Pendant le traitement réel, les plaques de graphite doivent être capables de résister à certains chocs thermiques et de maintenir l'intégrité structurelle dans des cycles de température rapides. Le graphite à haute densité VeteKesicon garantit une distribution de chaleur uniforme, qui est essentielle pour la croissance du film uniforme.

●  Excellente résistance à la corrosion:

Dans l'environnement du processus MOCVD, le graphite est généralement exposé aux gaz corrosifs (par exemple, l'ammoniac, l'hydrogène). Les plaques de graphite MOCVD à haute température résistantes à la corrosion avec une structure à grains fins minimisent la corrosion et prolongent la durée de vie.

●  Résistance mécanique haute performance:

Dans le processus épitaxial, les plateaux de graphite MOCVD doivent prendre en charge plusieurs plaquettes sans déformation. Selon les statistiques de VetekSemicon dans le traitement réel, la résistance à la flexion de la plaque de graphite doit être ≥50 MPa pour empêcher la fissuration du plateau.

Q3: Comment le scénario d'application affecte-t-il la sélection des plateaux de graphite MOCVD?

Différents processus MOCVD nécessitent des conceptions de plaques de graphite sur mesure:

●  Croissance épitaxiale de LED / Photonics:

Des plaques de graphite MOCVD ultra-lisses sont utilisées dans le processus d'épitaxie pour réduire la génération de particules et assurer des couches sans défaut.

Par exemple, les plaques de graphite VeteKeSeMICON MOCVD (ou les plaques de graphite VetekSeMicon pour MOCVD) sont conçues pour GAn et GaAs Epitaxy et fournissent une gestion thermique optimisée.

●  Fabrication de semi-conducteurs de puissance:

Combinés avec les statistiques expérimentales de la semi-conducteur, les plaques avec une résistance à l'oxydation améliorée sont généralement préférées pour les processus de carbure de silicium (SIC) ou de nitrure de gallium (GAN).

●  Production à haut débit:

Les plateaux multi-wafer nécessitent un traitement précis pour s'aligner sur la conception du réacteur. Des plateaux de graphite MOCVD personnalisables à partir de semi-conducteurs de semikera fournisseur fiable peuvent correspondre aux configurations d'outils spécifiques.

Q4: Quelles sont les principales considérations pour trouver un fournisseur de plaques de graphite MOCVD fiable?

●  Certification et tests:

Vérifiez que le fournisseur fournit une certification de matériel (par exemple le rapport de pureté, test de densité) et fournit un traitement de surface post-traitement (par exemple, le revêtement pour réduire la porosité). En tant que premier fabricant de l'équipement de semi-conducteur chinois et de l'équipement épitaxial, les plaques de graphite VetekSeMICON MOCVD ont été certifiées par les services gouvernementaux pour des expériences de limite rigoureuses, et les résultats des tests de pureté et de densité de ses produits sont loin de ses pairs.

●  Capacités de personnalisation:

Les fournisseurs de suscepteurs en graphite de haute pureté devraient personnaliser la taille, le modèle de trou et le revêtement pour répondre à vos besoins en réacteur. VetekSemicon et Semikera Semiconductor ont les capacités de service de personnalisation des produits et technologies connexes, et sont pleinement capables de répondre à vos divers besoins personnalisés.

●  Durée de vie et rentabilité:

Bien que le graphite moins cher puisse économiser les coûts initiaux, les plaques de graphite inférieures conduiront à un remplacement et à des temps d'arrêt fréquents, affectant sérieusement l'efficacité de production normale. Le choix des plaques de graphite VetekSeMicon et d'autres produits de qualité permettront à votre entreprise d'obtenir une production fiable à long terme.

Q5: Comment prolonger la durée de vie des plateaux de graphite MOCVD?

●  Empêcher l'oxydation: Utilisez la purge de gaz inerte pendant les cycles de chauffage / refroidissement.

●  Nettoyer régulièrement: Utilisez des méthodes non abrasives (comme la gravure à sec) pour éliminer les résidus déposés.

●  Évitez la contrainte mécanique: Gérer soigneusement le plateau pendant le chargement / le déchargement des plaquettes.

Le meilleur conseil de Veteksemicon à vous:

Pour les plaques de graphite MOCVD qui résistent à une corrosion à haute température, donnez la priorité aux fournisseurs ayant une expertise dans les matériaux de qualité semi-conducteurs.

Tester des échantillons dans des conditions de processus réelles pour vérifier les performances.

Explorez les revêtements avancés (tels que le revêtement SIC, le revêtement TAC) pour améliorer la durabilité et la fiabilité dans des environnements extrêmes.

Pour plus d'informations sur la plaque de graphite MOCVD de revêtement SIC, cliquez ici.

Pour plus d'informations sur la plaque de graphite MOCVD de revêtement TAC, cliquez ici.