Qu’est-ce que le graphite poreux ? - Semi-conducteur VeTek

Graphite poreuxest un matériau de carbone technique contenant un réseau de pores au sein de sa structure en graphite. Ses principales caractéristiques comprennent la porosité, la distribution de la taille des pores, la perméabilité, la densité apparente et les propriétés thermiques. Dans la fabrication de semi-conducteurs, des composants sélectionnés en graphite poreux de haute pureté sont utilisés dans les systèmes de croissance cristalline de transport physique de vapeur (PVT) en carbure de silicium (SiC) pour prendre en charge des fonctions spécifiques de transport de gaz et de champ thermique. Les performances du matériau dépendent de la qualité du graphite, de la structure des pores, de la pureté et des conditions de fonctionnement.

La structure poreuse du graphite

Le graphite poreux est un produit à structure poreuse constitué de graphite comme matériau de base. Son matériau est constitué de graphite de haute pureté. Les paramètres physiques du graphite poreux VeTek Semiconductor varient en fonction du processus de production et de l'application spécifique. Voici les paramètres physiques courants :

Le graphite poreux est composé de graphite de haute pureté et présente une excellente conductivité électrique, une conductivité thermique, une résistance aux températures élevées, une résistance à l'oxydation, une stabilité chimique et d'autres caractéristiques. Il est largement utilisé dans l’industrie de transformation des semi-conducteurs.

Dans le processus de traitement des semi-conducteurs, le graphite poreux est largement utilisé dans les aspects suivants:

Combiné à l'excellente résistance aux hautes températures et à la stabilité chimique du graphite poreux, telle qu'une bonne résistance à la corrosion à la plupart des produits chimiques tels que les acides, les alcalis et les solvants, le graphite poreux est souvent utilisé dans les équipements de frittage et de traitement thermique à haute température. Par exemple, le graphite poreux peut être utilisé comme revêtement, matériau isolant ou matériau de support pour les fours à haute température.

De plus,

Composant de graphite poreux à croissance cristalline SiCa une excellente conductivité électrique et stabilité thermique pour fournir un champ thermique uniforme et des propriétés électriques stables. Par conséquent, ce produit est souvent utilisé dans le processus de diffusion ou d’oxydation du traitement des semi-conducteurs comme source de diffusion ou matériau d’électrode.

La structure poreuse du graphite poreux peut filtrer et purifier les gaz utilisés dans le traitement des semi-conducteurs, réduire une éventuelle contamination par les particules et garantir une propreté élevée pendant le traitement. Avec sa structure poreuse et sa bonne perméabilité à l'air, les pièces en graphite poreux peuvent également être utilisées comme base et accessoire dans un système d'adsorption sous vide pour fixer des plaquettes ou d'autres composants grâce à une adsorption sous vide efficace.

En ajustant le processus de frittage du graphite, VeTek Semiconductor peutpersonnaliser les matériaux en graphite poreux avec différentes tailles de pores et porosités pour répondre aux différentes exigences d'application.

                                                                                                  Graphite poreux                 Graphite poreux à croissance cristalline SiC           Creuset en graphite à trois pétales

En fait, VeTek Semiconductor occupe une position de leader absolu sur le marché chinois des suscepteurs en graphite à revêtement sic, sur le marché des creusets en graphite à revêtement tac et sur le marché des plateaux en graphite à revêtement en carbure de silicium. VeTek Semiconductor est un fabricant, fournisseur et usine chinois professionnel de produits spéciaux en graphite, tels queGraphite poreux à croissance cristalline SiC, Revêtement de carbone pyrolytique, Revêtement en carbone vitreux, Graphite isotrope, Graphite SiliconéetFeuille de graphite de haute pureté. nous nous engageons à fournir des solutions avancées pour divers produits en graphite spécial pour l'industrie des semi-conducteurs.

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