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Déflecteur de creuset en graphite enduit sic
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Déflecteur de creuset en graphite enduit sic

Le déflecteur de creuset en graphite revêtu de SiC est un composant clé de l'équipement du four monocristallin. Sa tâche est de guider le matériau fondu du creuset vers la zone de croissance cristalline en douceur et d'assurer la qualité et la forme de la croissance monocristalline. Le semi-conducteur Vetek peut fournir un matériau de revêtement en graphite et en SiC. Bienvenue à nous contacter pour plus de détails.

VeTek Semiconducotr est un fabricant et fournisseur professionnel de déflecteurs de creuset en graphite à revêtement SiC en Chine. Le déflecteur de creuset en graphite revêtu de SiC est un composant crucial de l'équipement de four monocristallin, chargé de guider en douceur le matériau fondu du creuset vers la zone de croissance cristalline, garantissant ainsi la qualité et la forme de la croissance monocristalline.


Les fonctions de notre déflecteur de creuset en graphite revêtu de SiC sont :

Contrôle du flux : il dirige le flux de silicium fondu pendant le processus Czochralski, assurant une distribution uniforme et un mouvement contrôlé du silicium fondu pour favoriser la croissance des cristaux.

Régulation de la température: Il aide à réguler la distribution de la température dans le silicium fondu, garantissant des conditions optimales pour la croissance cristalline et la minimisation des gradients de température qui pourraient affecter la qualité du silicium monocristallin.

Prévention de la contamination : en contrôlant le flux de silicium fondu, il aide à prévenir la contamination provenant du creuset ou d'autres sources, maintenant ainsi la haute pureté requise pour les applications de semi-conducteurs.

Stabilité : Le déflecteur contribue à la stabilité du processus de croissance cristalline en réduisant les turbulences et en favorisant un flux constant de silicium fondu, ce qui est crucial pour obtenir des propriétés cristallines uniformes.

Facilitation de la croissance cristalline : en guidant le silicium fondu de manière contrôlée, le déflecteur facilite la croissance d'un monocristal à partir du silicium fondu, ce qui est essentiel pour produire des tranches de silicium monocristallin de haute qualité utilisées dans la fabrication de semi-conducteurs.


Paramètre de produit du déflecteur de creuset en graphite enduit SIC

Propriétés physiques du graphite isostatique
Propriété Unité Valeur typique
Densité en vrac g / cm³ 1.83
Dureté HSD 58
Résistivité électrique μΩ.m 10
Résistance à la flexion MPA 47
Résistance à la compression MPA 103
Résistance à la traction MPA 31
Module de Young GPA 11.8
Expansion thermique (CTE) 10-6K-1 4.6
Conductivité thermique W·m-1·K-1 130
Taille moyenne des grains µm 8-10
Porosité % 10
Contenu des cendres ppm ≤10 (après purifié)

Remarque : Avant le revêtement, nous effectuerons une première purification, après le revêtement, nous effectuerons une deuxième purification.


Propriétés physiques de base du revêtement CVD SIC
Propriété Valeur typique
Structure cristalline Phase β FCC polycristalline, principalement orientée (111)
Densité 3,21 g / cm³
Dureté Dureté Vickers 2500 (charge de 500 g)
Taille des grains 2 ~ 10 mm
Pureté chimique 99,99995%
Capacité thermique 640 J · kg-1·K-1
Température de sublimation 2700 ℃
Résistance à la flexion 415 MPA RT 4 points
Module de Young Courbure 430 Gpa 4pt, 1300℃
Conductivité thermique 300W · M-1·K-1
Expansion thermique (CTE) 4,5×10-6K-1


Atelier de production de semi-conducteurs VeTek :

VeTek Semiconductor Production Shop


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