Suscepteur de crêpes à revêtement SiC pour plaquettes LPE PE3061S 6''

En tant que fabricant professionnel, Vetek Semiconductor souhaite vous fournir un suscepteur de crêpes enduit de sic de haute qualité pour les plaquettes LPE PE3061S 6 ''.

Le suscepteur de crêpe à revêtement SiC VeTeK Semiconductor pour tranches LPE PE3061S 6" est un équipement critique utilisé dans les processus de fabrication de semi-conducteurs.

SIC revêtu de crêpes Suscepteur pour les caractéristiques du produit LPE PE3061S 6 "WAVERS:

Stabilité à haute température : le SiC présente une excellente stabilité à haute température, conservant sa structure et ses performances dans des environnements à haute température.

Conductivité thermique exceptionnelle: SIC a une conductivité thermique exceptionnelle, permettant un transfert de chaleur rapide et uniforme pour un chauffage rapide et même.

Résistance à la corrosion : le SiC possède une excellente stabilité chimique, résistant à la corrosion et à l’oxydation dans divers environnements de chauffage.

Répartition uniforme de la chaleur : le support de plaquette recouvert de SiC assure une répartition uniforme de la chaleur, garantissant une température uniforme sur toute la surface de la plaquette pendant le chauffage.

Convient à la production de semi-conducteurs : le support de plaquette d'épitaxie Si est largement utilisé dans les processus de fabrication de semi-conducteurs, en particulier pour la croissance par épitaxie Si et d'autres processus de chauffage à haute température.

Avantages du produit:

Amélioration de l'efficacité de la production: le suscepteur de crêpes à revêtement SIC permet un chauffage rapide et uniforme, réduisant le temps de chauffage et améliorant l'efficacité de la production.

Qualité du produit garantie : une distribution uniforme de la chaleur garantit la cohérence pendant le traitement des plaquettes, conduisant à une qualité de produit améliorée.

Durée de vie de l'équipement prolongé: le matériau SIC offre une excellente résistance à la chaleur et une stabilité chimique, contribuant à une durée de vie plus longue du suscepteur de crêpes.

Solutions personnalisées: SIC enduit de suscepteur, SI Epitaxy Wafer Carrier peut être adapté à différentes tailles et spécifications en fonction des exigences des clients.

Propriétés physiques de base du revêtement CVD SiC :

Atelier de production de semi-conducteurs VeTek

Aperçu de la chaîne de l'industrie de l'épitaxie des puces semi-conductrices: