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Suscepteur de baril en graphite revêtu de SiC pour EPI
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Suscepteur de baril en graphite revêtu de SiC pour EPI

La base de chauffage épitaxiale de type baril est un produit avec une technologie de traitement compliquée, ce qui est très difficile pour l'usinage de l'équipement et des capacités. Vetek Semiconductor a un équipement avancé et une riche expérience dans le traitement du baril en graphite en revêtement SIC Soscepteur pour EPI, peut fournir la même chose que la durée de vie d'usine d'origine, des barils épitaxiaux plus rentables. Si vous êtes intéressé par nos données, les pls n'hésitent pas à nous contacter.
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Description du produit

It semi-conducteurest un fabricant et fournisseur chinois qui produit principalement des suscepteurs cylindriques en graphite revêtus de SiC pour EPI avec de nombreuses années d'expérience. J'espère établir des relations commerciales avec vous.EPI (épitaxie)est un processus critique dans la fabrication de semi-conducteurs avancés. Il implique le dépôt de couches minces de matériau sur un substrat pour créer des structures d'appareils complexes. Le suscepteur de baril en graphite enduit SIC pour EPI est couramment utilisé comme suscepteur dans les réacteurs EPI en raison de leur excellente conductivité thermique et de leur résistance à des températures élevées. AvecRevêtement CVD-SiC, il devient plus résistant à la contamination, à l'érosion et au choc thermique. Il en résulte une durée de vie plus longue pour le suscepteur et une meilleure qualité de film.


Avantages de notre suscepteur en graphite à revêtement SiC :


✔ Contamination réduite: La nature inerte du SIC empêche les impuretés d'adhérer à la surface du suscepteur, réduisant le risque de contamination des films déposés.

✔ Augmentation de la résistance à l'érosion: Le SIC est nettement plus résistant à l'érosion que le graphite conventionnel, conduisant à une durée de vie plus longue pour le suscepteur.

✔ Stabilité thermique améliorée: Le SIC a une excellente conductivité thermique et peut résister à des températures élevées sans distorsion significative.

✔ Qualité du film améliorée: La stabilité thermique améliorée et la contamination réduite entraînent des films déposés de meilleure qualité avec un contrôle amélioré d'uniformité et d'épaisseur.


Applications :

Les suscepteurs en baril en graphite en revêtement SIC sont largement utilisés dans diverses applications EPI, notamment:

✔ LED à base de Gan

✔ Electronique d'alimentation

✔ Appareils optoélectroniques

✔ Transistors à haute fréquence

✔ Capteurs

Paramètre de produit du SIC enduit de graphite Barrel Suscepteur

Propriétés physiques degraphite isostatique
Propriété Unité Valeur typique
Densité apparente g / cm³ 1.83
Dureté HSD 58
Résistivité électrique μΩ.m 10
Résistance à la flexion MPA 47
Résistance à la compression MPA 103
Résistance à la traction MPA 31
Module de Young GPA 11.8
Expansion thermique (CTE) 10-6K-1 4.6
Conductivité thermique W · m-1· K-1 130
Taille moyenne des grains μm 8-10
Porosité % 10
Contenu en cendres ppm ≤10 (après purifié)

        Remarque : Avant le revêtement, nous effectuerons une première purification, après le revêtement, nous effectuerons une deuxième purification.

Propriétés physiques de base du revêtement CVD SiC

Propriétés physiques de base du revêtement CVD SiC
Propriété Valeur typique
Structure cristalline Phase β FCC polycristalline, principalement orientée (111)
Revêtement SiC Densité 3,21 g / cm³
Revêtement CVD SiC Dureté Dureté Vickers 2500 (charge de 500 g)
Taille des grains 2 ~ 10 mm
Pureté chimique 99,99995%
Capacité thermique 640 J · kg-1· K-1
Température de sublimation 2700 ℃
Résistance à la flexion 415 MPa RT 4 points
Module de Young Courbure 430 Gpa 4pt, 1300℃
Conductivité thermique 300W · M-1· K-1
Expansion thermique (CTE) 4,5 × 10-6K-1

It semi-conducteurSuscepteur de baril en graphite revêtu de SiC pour EPIAtelier de production

SiC Coated Graphite Barrel Susceptor for EPI products shops

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