Suscepteur en graphite revêtu de SiC pour MOCVD

Le suscepteur de graphite enduit de SiC à SIC de Vetek pour MOCVD est un porte-graphite enduit de sic de haute pureté, spécialement conçu pour la croissance de la couche épitaxiale sur les puces de plaquettes. En tant que composant central du traitement MOCVD, généralement façonné comme un engrenage ou un anneau, il possède une résistance à la chaleur et une résistance à la corrosion exceptionnelles, garantissant la stabilité dans des environnements extrêmes.

Caractéristiques clés du suscepteur de graphite enduit de SIC MOCVD:

●   Revêtement résistant aux écailles: Assure une couverture uniforme de revêtement SIC sur toutes les surfaces, en réduisant le risque de détachement de particules

● Excellent résistance à l'oxydation à haute températurece: Reste stable à des températures allant jusqu'à 1600°C

● Haute pureté: Fabriqué par le dépôt de vapeur chimique CVD, adapté aux conditions de chloration à haute température

●   Résistance supérieure à la corrosion: Très résistant aux acides, aux alcalis, aux sels et aux réactifs biologiques

● Modèle de flux d'air laminaire optimisé: Améliore l'uniformité de la dynamique du flux d'air

● Distribution thermique uniforme: Assure une distribution stable de la chaleur pendant les processus à haute température

●   Prévention de la contamination: Empêche la diffusion de contaminants ou d'impuretés, garantissant ainsi la propreté des plaquettes

Chez Vetek Semiconductor, nous adhérons à des normes de qualité strictes, offrant des produits et services fiables à nos clients. Nous ne sélectionnons que des matériaux premium, nous efforçons de répondre et de dépasser les exigences de performance de l'industrie. Notre suscepteur de graphite enduit de SiC pour MOCVD illustre cet engagement envers la qualité. Contactez-nous pour en savoir plus sur la façon dont nous pouvons répondre à vos besoins de traitement de la plaquette semi-conducteurs.

STRUCTURE CRISTALLINE DU FILM CVD SIC :

Propriétés physiques de base du revêtement CVD SIC:

It semi-conducteur MOCVD Récepteur en graphite revêtu de SiC :