TAC CURIBUCTION CUCIBLE

Traite des semi-conducteursCVD TAC enduit de creusetJouez généralement les rôles clés suivants dans la méthode Pvt Méthode SIC Processus de croissance en cristal:

La méthode PVT fait référence à la mise en place d'un cristal de graines SIC au-dessus du creuset enduit de TAC et à la place de poudre SIC comme matière première au fond du creuset. Dans un environnement fermé de température élevée et de basse pression, la poudre SIC sublime, et sous l'action du gradient de température et de la différence de concentration, lePoudre de sicest transféré à proximité du cristal des graines et atteint un état sursaturé après recristallisation. Par conséquent, la méthode PVT peut atteindre une croissance contrôlable de la taille des cristaux SIC et de la forme cristalline spécifique.

● Stabilité thermique de la croissance des cristaux

Les creusets revêtus de semi-conducteurs VeTek ont ​​une excellente stabilité thermique (peut rester stable en dessous de 2200 ℃), ce qui aide à maintenir leur intégrité structurelle même aux températures extrêmement élevées requises pour la croissance monocristalline. Cette propriété physique permet au Crucible en graphite enduit SIC de contrôler précisément le processus de croissance des cristaux, entraînant des cristaux très uniformes et sans défaut.

● Excellente barrière chimique

Des creusets enduits de TAC combinent un revêtement en carbure de tantale avec un creuset en graphite de haute pureté pour fournir une excellente résistance à une large gamme de produits chimiques corrosifs et de matériaux fondus couramment rencontrés lors de la croissance monocristalline SIC. Cette propriété est essentielle pour atteindre des cristaux de haute qualité avec un minimum de défauts.

● Amortir les vibrations pour un environnement de croissance stable

Les excellentes propriétés d'amortissement du creuset enduit de TAC minimisent les vibrations et les chocs thermiques dans le creuset en graphite, contribuant davantage à un environnement de croissance cristalline stable et contrôlé. En atténuant ces sources potentielles d'interférence, le revêtement TAC permet la croissance de cristaux plus grands et plus uniformes avec une densité de défaut réduite, ce qui augmente finalement les rendements des dispositifs et l'amélioration des performances des dispositifs.

● Excellente conductivité thermique

Les creusets enduits de VetekSemicon ont une excellente conductivité thermique, ce qui aide le Crucible en graphite à transférer la chaleur rapidement et uniformément. Cela détermine le contrôle précis de la température tout au long du processus de croissance des cristaux, minimisant les défauts cristallins causés par les gradients thermiques.

Enrobage de carbure de tantale (TAC) sur une section transversale microscopique

Propriétés physiques deRevêtement en carbure de tantale

Magasins de production de semi-conducteurs Vetek