Board en carbure de carbure de silicium

Veteksemicon SIC Wafer Boat est un transporteur de base conçu spécifiquement pour les processus semi-conducteurs à haute température. En utilisant du graphite pressé de haute pureté comme son substrat, ce produit utilise une technologie de dépôt chimique chimique brevetée pour former une couche de protection de carbure de silicium dense et non poreuse à la surface.

Cette couche combine parfaitement l'excellente conductivité thermique du graphite avec la résistance à la corrosion exceptionnelle du carbure de silicium. Le revêtement rigoureusement contrôlé atteint une épaisseur de 80-120 μm, résistant efficacement à la corrosion de diverses atmosphères acides et alcalines, réduisant considérablement le risque de contamination par les métaux. Il maintient la stabilité structurelle et l'intégrité dimensionnelle même dans des environnements à haute température, offrant une protection et un support fiables pour les WALFers pendant les processus critiques tels que l'oxydation, la diffusion et la croissance épitaxiale, prolongeant efficacement la durée de vie de la plaquette de plus de trois fois celle des bateaux de graphite conventionnels.

Ⅰ. Paramètres techniques

Ⅱ. Veteksemicon Sic Wafer Boat Core Avantages

• Excellente résistance à la corrosion

Le revêtement SIC sur le bateau à plaquette VeteKemicon est déposé à l'aide de notre processus de MCV à haute température propriétaire, résultant en une structure dense et uniforme complètement exempte de pores et de fissures. Cette barrière solide isole efficacement les plaquettes de l'environnement de la fournaise. De fortes atmosphères oxydantes, des composés fluorés et d'autres gaz corrosifs sont imperméables à cette couche protectrice. Cela signifie que vos plaquettes sont protégées de la contamination, tandis que le bateau lui-même reste intact à travers des processus extrêmes répétés, prolongeant considérablement sa durée de vie.

• Matériaux de pureté ultra-élevé

Nous comprenons que même la moindre contamination peut rendre un lot entier de plaquettes inutile. Par conséquent, VetekSeMICon contrôle rigoureusement les matières premières, en utilisant du graphite pressé de manière isostatique importée avec une pureté dépassant 99,9995% comme substrat. Le revêtement SIC déposé sur ce substrat obtient également une pureté de 99,999%, avec des impuretés critiques comme le sodium, le potassium, le fer et les métaux lourds maintenus à des niveaux extrêmement faibles (PPB). Cette pureté presque intrinsèque garantit qu'aucun contaminant n'est libéré à des températures élevées, éliminant fondamentalement le risque de dégradation des performances des dispositifs en raison de problèmes liés aux transporteurs.

• Excellente stabilité thermique

La fabrication de semi-conducteurs nécessite des processus thermiques extrêmement cohérents. Le coefficient d'expansion thermique du bateau à plaquettes de VetekSemicon est méticuleusement conçu pour correspondre étroitement à celui des tranches de silicium. Pendant le chauffage et le refroidissement rapides, le bateau et la plaquette se déplacent en synchronisation, ce qui réduit considérablement le risque de défauts de réseau et de déformation causée par la contrainte thermique. Il peut résister aux températures de fonctionnement continues jusqu'à 1600 ℃, en maintenant une excellente résistance mécanique et stabilité dimensionnelle même à ces températures élevées. Cela garantit la répétabilité et la fiabilité dans chaque processus, offrant une base solide pour le contrôle de la tolérance dans la fabrication des puces.

• Résistance mécanique durable

La valeur de nos produits réside non seulement dans l'investissement initial mais aussi dans le coût de possession à long terme. Par rapport aux composants traditionnels de quartz ou de graphite, les bateaux à plaquettes VeteKemicon SIC offrent une usure exceptionnelle et une résistance à l'impact. Leur dureté de surface élevée résiste aux rayures et aux débris pendant la manipulation et le nettoyage. Cette ténacité leur permet de résister facilement à plus de 200 cycles de processus à haute température et aux procédures de nettoyage nécessaires, réduisant considérablement les coûts d'approvisionnement, les coûts d'inventaire et les temps d'arrêt de l'équipement associés au remplacement fréquent des composants.

• Approbation de vérification de la chaîne écologique

La vérification de la chaîne écologique de VetekSeMICON SIC couvre les matières premières à la production, a adopté une certification internationale standard et possède un certain nombre de technologies brevetées pour assurer sa fiabilité et sa durabilité dans les semi-conducteurs et les nouveaux domaines énergétiques.

Ⅲ. Champs d'application principaux

Pour des spécifications techniques détaillées, des livres blancs ou des dispositions de test d'échantillons, veuillez contacter notre équipe d'assistance technique pour explorer comment VeteKeMICon peut améliorer l'efficacité de votre processus.

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