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Carbure de gigantes en carbure de silicium pur élevé
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Carbure de gigantes en carbure de silicium pur élevé

Vetek Semiconductor High Pure Silicon Carbide Carbure Carrier est important dans le traitement des semi-conducteurs, conçu pour maintenir et transporter des plaquettes de silicium délicates en toute sécurité, jouant un rôle clé à toutes les étapes de la fabrication. Le transporteur de gigue de carbure de silicium en silicium élevé de Vetek Semiconductor est soigneusement conçu et fabriqué pour assurer d'excellentes performances et fiabilité. Vetek Semiconductor s'engage à fournir des produits de qualité à des prix compétitifs, et nous sommes impatients d'être votre partenaire à long terme en Chine.

Vetek Semiconductor est un fabricant de transporteur de canons en silicium en silicium en silicium Pure High Pure China High Pure Pure avec une haute qualité et un prix raisonnable. Bienvenue pour nous contacter.

Le transporteur de gigue de carbure de silicium en silicium pur à semi-conducteur de Vetek est un porteur conçu pour plusieurs plaquettes pour maximiser l'efficacité spatiale dans la chambre de processus. Ces porteurs de plate-forme en carbure de silicium de haute pureté sont généralement rectangulaires ou cylindriques, et chaque support a des machines à sous ou des rainures de précision qui sont séparées les unes des autres pour contenir fermement une seule tranche en position verticale. La porteuse à plate-forme en carbure de silicium pure élevée a une excellente résistance aux températures élevées, aux produits chimiques corrosifs et aux stress mécaniques, ce qui les rend idéaux pour protéger les tranches des dommages potentiels. Ils sont fabriqués à partir de carbure de silicium de haute pureté (sic) pour assurer l'intégrité et la sécurité des plaquettes pendant le traitement.

Les porteurs de rouleaux en carbure de silicium pur élevés jouent un rôle vital dans des processus complexes tels que la diffusion, le RTP et les champs thermiques, servant de transporteur stable pour les plaquettes pour obtenir un transfert transparent entre différents équipements et étapes. Sa structure verticale minimise l'espace de plancher dans la chambre de processus, optimise le débit de production et peut gérer efficacement de grands lots de plaquettes. Les porteurs de plateaux de carbure de silicium en silicium pur élevés sont connus pour leur excellente résistance aux températures élevées, à la corrosion et à la résistance mécanique pour protéger les plaquettes des dommages potentiels.

La porteuse à plaquette de carbure de silicium en silicium pure à semi-conducteur de Vetek est en carbure de silicium à haute pureté (SIC) et a une excellente résistance à la température élevée, une résistance à la corrosion chimique et une résistance mécanique pour protéger l'intégrité des plaquettes dans des environnements difficiles. Sa structure soigneusement conçue et ses emplacements traités avec précision garantissent que les plaquettes sont fermement positionnées pour répondre aux besoins du traitement de haute précision.

Vetek Semiconductor s'engage à fournir aux clients des produits de haute qualité et un support technique fiable. Que ce soit dans la croissance de la plaquette, la diffusion, le dépôt de couches minces ou d'autres processus critiques, le porte-gigue de carbure de silicium pur de Vetek semi-conducteur peut jouer un rôle important pour assurer la stabilité et la cohérence du processus de fabrication. Nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.


Paramètre de produit du porte-gigue en carbure de silicium élevé

Propriétés physiques du carbure de silicium recristallisé
Propriété Valeur typique
Température de travail (° C) 1600 ° C (avec oxygène), 1700 ° C (environnement réducteur)
Contenu SIC > 99,96%
Contenu SI gratuit <0,1%
Densité en vrac 2,60-2,70 g / cm3
Porosité apparente <16%
Résistance à la compression > 600 MPa
Résistance à la flexion froide 80-90 MPa (20 ° C)
Résistance à la flexion chaude 90-100 MPa (1400 ° C)
Extension thermique à 1500 ° C 4.70 10-6/ ° C
Conductivité thermique à 1200 ° C 23 w / m • k
Module élastique 240 GPA
Résistance aux chocs thermiques Extrêmement bon


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Aperçu de la chaîne de l'industrie de l'épitaxie des puces semi-conductrices:

Overview of the semiconductor chip epitaxy industry chain


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