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Pagaie en cantilever en carbure de silicium
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Pagaie en cantilever en carbure de silicium

La pagaie en cantilever en carbure de silicium de Semiconductor Vetek est un composant important du processus de fabrication de semi-conducteurs, en particulier adapté aux fours de diffusion ou aux fours LPCVD dans des processus à haute température tels que la diffusion et le RTP. Notre pagaie en cantilever en carbure de silicium est soigneusement conçue et fabriquée avec une excellente résistance à haute température et une résistance mécanique, et peut transporter des plaquettes en toute sécurité et de manière fiable vers le tube de procédé dans des conditions difficiles de processus pour divers processus à haute température tels que la diffusion et le RTP. Nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine. Nous sommes liés à nous enquêter.

Vous pouvez être assuré d'acheter une pagaie de cantilever en carbure de silicium personnalisé de Vetek Semiconducto. Nous sommes impatients de coopérer avec vous, si vous voulez en savoir plus, vous pouvez nous consulter maintenant, nous vous répondrons à temps!

La pagaie en cantilever en carbure de silicium du semi-conducteur de Vetek est en carbure de silicium de haute pureté et a une excellente résistance à la température élevée et une résistance mécanique. Il s'agit d'un composant clé indispensable dans le processus de fabrication de semi-conducteurs, en particulier dans les fours de diffusion ou LPCVD et les processus RTP. La conception et la fabrication précises de la pagaie en porte-à-faux en carbure de silicium garantissent le positionnement et le transfert de tranches sûres pour répondre aux exigences de processus de haute précision.

La pagaie en cantilever en carbure de silicium de Semiconductor Vetek est en carbure de silicium comme matériau principal. Le carbure de silicium a les caractéristiques d'une forte résistance et d'une bonne stabilité thermique, il peut donc résister à des conditions difficiles dans l'environnement de processus à haute température des fours semi-conducteurs. L'une des raisons du choix du carbure de silicium est qu'elle peut s'adapter à l'environnement à haute température dans les fours à semi-conducteurs.

La conception de la pagaie en porte-à-faux en carbure de silicium lui permet de s'étendre dans le tube de processus dans le four et d'être fermement fixé à une extrémité à l'extérieur du tube. Cette conception garantit que la plaquette traitée reste stable et soutenue pendant le processus et minimise les interférences avec l'environnement thermique dans la fournaise.

Vetek Semiconductor s'engage à fournir des produits de paddle en porte-à-faux sic de haute qualité. Nos produits sont soigneusement conçus et fabriqués pour répondre aux exigences strictes du processus de fabrication de semi-conducteurs. Les excellentes performances et la fiabilité de la pagaie en cantilever en silicium en sont un composant clé indispensable dans l'industrie des semi-conducteurs. Vetek Semiconductor s'engage à fournir des produits de qualité à des prix compétitifs, et nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.


Paramètre du produit de la pagaie en porte-à-faux en carbure de silicium

Propriétés physiques du carbure de silicium recristallisé
Propriété Valeur typique
Température de travail (° C) 1600 ° C (avec oxygène), 1700 ° C (environnement réducteur)
Contenu SIC > 99,96%
Contenu SI gratuit <0,1%
Densité en vrac 2,60-2,70 g / cm3
Porosité apparente <16%
Résistance à la compression > 600 MPa
Résistance à la flexion froide 80-90 MPa (20 ° C)
Résistance à la flexion chaude 90-100 MPa (1400 ° C)
Extension thermique à 1500 ° C 4.70 10-6/ ° C
Conductivité thermique à 1200 ° C 23 w / m • k
Module élastique 240 GPA
Résistance aux chocs thermiques Extrêmement bon


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