Bateau de plaquette de carbure de silicium enduit de SiC

Vetek Semiconductor est le fabricant et le fournisseur de Chine qui produit principalement un bateau à gaufrette en carbure de silicium enduit de SiC avec de nombreuses années d'expérience. J'espère établir des relations commerciales avec vous. Le bateau à plaquette en carbure de silicium enduit en revêtement est utilisé dans les fours de diffusion semi-conducteurs pour transporter les plaquettes pour divers processus à haute température tels que l'implantation d'ions, la diffusion et le recuit. Il peut fournir un environnement stable pour les plaquettes, assurant l'uniformité et la cohérence de la température pendant le traitement.

Les plaques de carbure de silicium recouvertes de SiC ont une résistance thermique et une stabilité chimique plus élevées, ce qui leur permet de fonctionner à des températures plus élevées et d'offrir une durée de vie plus longue. De plus, ils ont des taux d’évaporation des matériaux et d’adsorption des gaz plus faibles, contribuant ainsi à réduire l’impact des impuretés sur le traitement des plaquettes.

Nous pouvons fabriquer différents types de bateaux à plaquettes en carbure de silicium tels que un bateau à plaquette horizontale, un bateau à plaquette verticale et tout autre bateau personnalisé.

Avantages de notre carbure de silicium de haute pureté:

1. stabilité de la haute température

2. Inerness chimique

3. Faible teneur en impuretés

4. Conductivité thermique

Propriétés physiques du carbure de silicium recristallisé

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