Palette en porte-à-faux en carbure de silicium (SiC)

La pagaie en cantilever en carbure de silicium (SIC) est un composant clé indispensable dans le processus de traitement des plaquettes. Il fait principalement partie du système de transport de plaquettes. Il entreprend la tâche importante de transporter et de transporter des tranches dans des équipements tels que les fours de diffusion d'oxydation à haute température, d'assurer la concentricité de la plaquette et du tube de fournaise, et d'améliorer la cohérence et le rendement du traitement des plaquettes.

La pagaie en porte-à-faux sic a d'excellentes performances à haute température: dans un environnement à haute température jusqu'à 1600 ℃, la pagaie en porte-à-faux sic peut toujours maintenir une résistance et une stabilité élevées, ne se déformeront pas, les dommages et les autres problèmes, et peuvent fonctionner de manière stable pendant longtemps.

La pagaie en cantilever en carbure de silicium est faite de matériau SIC de haute pureté, et aucune particules ne tombera pendant le traitement des plaquettes, évitant la contamination de la surface de la plaquette. Le matériau en carbure de silicium a une résistance à la flexion élevée et peut résister à une plus grande contrainte lors du transport de WALFERS, et n'est pas sujet à la rupture, assurant la sécurité et la stabilité du processus de transmission de la plaquette. L'excellente stabilité chimique du sic aide la pagaie en porte-à-faux sic à résister à la corrosion de divers produits chimiques et gaz, empêche les impuretés de contaminer la tranche en raison de la corrosion des matériaux et prolonge la durée de vie du produit.

Schéma de fonctionnement de la palette en porte-à-faux SiC

Spécifications du produit

● Différentes tailles: Nous fournissons des pagaies en cantilever en carbure de silicium (sic) de différentes tailles pour répondre aux besoins de différents types d'équipements de semi-conducteurs et de traitement de la tranche de différentes tailles.

●  Service personnalisé: En plus des produits de spécifications standard, nous pouvons également créer des solutions exclusives pour les clients en fonction de leurs exigences particulières, telles que la taille, la forme, la capacité de charge spécifiques, etc.

●  Conception de moulage en une seule pièce: Il est généralement fabriqué à l'aide d'un processus de moulage d'une seule pièce, comprenant la section de connexion, la section de transition et la section de roulement. Les pièces sont étroitement connectées et ont une forte intégrité, ce qui améliore efficacement la résistance structurelle et la stabilité du produit et réduit le risque de défaillance causée par des pièces de connexion faibles.

●  Structure renforcée: Certains produits sont équipés de structures de renforcement dans des pièces clés telles que la section de transition, telles que la plaque inférieure, la plaque de pression, la bielle, etc., qui améliore encore la résistance à la connexion entre la section de transition et la section de connexion et la section de roulement , Améliore la fiabilité de la pagaie en porte-à-faux de la haute pureté lors du transport de la tranche et empêche des problèmes tels que la fracture dans la zone de transition.

●  Conception spéciale de la zone d'appui: La conception de la zone d'appui prend pleinement en compte le placement et le transfert de chaleur de la plaquette. Certains produits sont équipés de rainures en forme de U, de trous en forme de longue bande, de trous rectangulaires et d'autres structures dans la zone d'appui, ce qui réduit non seulement le poids de la zone d'appui elle-même, mais réduit également la zone de contact avec la plaquette pour éviter de bloquer la chaleur. Dans le même temps, cela peut également assurer la stabilité de la plaquette pendant la transmission et empêcher la plaquette de tomber.

Propriétés physiques du carbure de silicium recristallisé :

Pendant le processus de production, chaque pagaie en cantilever en carbure de silicium (sic) doit subir des inspections de qualité strictes, y compris l'inspection de précision dimensionnelle, l'inspection de l'apparence, les tests de propriété physique, les tests de stabilité chimique, etc., pour s'assurer que le produit répond aux normes de haute qualité et peut répondre Les exigences strictes du traitement des plaquettes semi-conductrices.

It semi-conducteurpropose une gamme complète de services après-vente. Si les clients rencontrent des problèmes lors de l'utilisation, l'équipe après-vente professionnelle répondra dans les meilleurs délais et fournira aux clients des solutions rapides et efficaces pour garantir que la production des clients ne soit pas affectée.

It semi-conducteurBoutiques de production de paddle en porte-à-faux de la haute pureté: