Qu'est-ce que le Tantalum Carbide TAC revêtement? - veteksemicon

Qu'est-ce que le carbure de tantale (TAC)?

Le matériau en céramique en carbure de carbure (TAC) a un point de fusion jusqu'à 3880 ℃ et est un composé avec un point de fusion élevé et une bonne stabilité chimique. Il peut maintenir des performances stables dans des environnements à haute température. De plus, il a également une résistance à la température élevée, une résistance à la corrosion chimique et une bonne compatibilité chimique et mécanique avec les matériaux de carbone, ce qui en fait un matériau de protection de substrat de substrat de graphite idéal. 

Revêtement en carbure de tantalePeut protéger efficacement les composants du graphite contre les effets de l'ammoniac chaud, de l'hydrogène, de la vapeur de silicium et du métal fondu dans des environnements d'utilisation sévère, prolongeant considérablement la durée de vie des composants graphites et supprimant la migration des impuretés dans le graphite, garantissant la qualité de la qualité de la qualité de la qualité de la qualité de la qualité de la qualité de la qualité de la qualité de la qualité deépitaxialetcroissance cristalline.

Figure 1. Composants revêtus de carbure commun

Préparation du revêtement TAC par processus CVD

Le dépôt de vapeur chimique (CVD) est la méthode la plus mature et optimale pour produire des revêtements TAC sur des surfaces de graphite.

En utilisant le TACL5 et le propylène comme sources de carbone et de tantale respectivement, et l'argon comme gaz porteur, la vapeur de tacl5 vaporisée à haute température est introduite dans la chambre de réaction. À la température et à la pression cibles, la vapeur du matériau précurseur s'adsorbe à la surface du graphite, subissant une série de réactions chimiques complexes telles que la décomposition et la combinaison de sources de carbone et de tantale, ainsi qu'une série de réactions de surface telles que la diffusion et la désorption de sous-produits du précurseur. Enfin, une couche de protection dense est formée à la surface du graphite, qui protège le graphite de l'existence stable dans des conditions environnementales extrêmes et étend considérablement les scénarios d'application des matériaux de graphite.

Figure 2.Principe de processus de dépôt de vapeur chimique (CVD)

Pour plus d'informations sur les principes et le processus de préparation du revêtement TAC CVD, veuillez vous référer à l'article:Comment préparer le revêtement TAC CVD?

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SeminiFournit principalement les produits en carbure de tantale: anneau de guidage TAC, TAC enduit de trois anneaux de pétale,TAC CURIBUCTION CUCIBLE, Le revêtement de graphite poreux TAC est largement utilisé est le processus de croissance des cristaux SIC; Graphite poreux avec anneau de guidage enduit de TAC revêtu de TAC,Carrier à plaquette en graphite enduit TAC, TAC Rebating Subsgers,suscepteur planétaire, Et ces produits de revêtement en carbure de tantale sont largement utilisés dansProcessus d'épitaxy SICetProcessus de croissance monocristallique SIC.

Figure 3.VétérinaireProduits de revêtement en carbure de Tantalum le plus populaire d'EK Semiconductor