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Carrier ICP à revêtement SIC
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Carrier ICP à revêtement SIC

Le transporteur de gravure ICP revêtu de VetekSeMICON est conçu pour les applications d'équipement épitaxy les plus exigeantes. Fabriqué en matériau graphite ultra-pur de haute qualité, notre porte-gravure ICP en revêtement en SiC a une surface très plate et une excellente résistance à la corrosion pour résister aux conditions difficiles pendant la manipulation. La conductivité thermique élevée du support enduit de SiC assure une distribution de chaleur même pour d'excellents résultats de gravure.

Avec des années d'expérience dans la production du transporteur de gravure ICP en revêtement SIC, Vetek Semiconductor peut fournir une large gamme deEnduit de sicouTac enduitpièces de rechange pour l'industrie des semi-conducteurs. En plus de la liste de produits ci-dessous, vous pouvez également personnaliser vos propres pièces uniques enduites ou enduites de TAC en fonction de vos besoins spécifiques.


Le transporteur de gravure ICP à revêtement SIC de Vetek, également connu sous le nom de transporteurs ICP, transporteurs PSS, transporteurs RTP ou transporteurs RTP, sont des composants importants utilisés dans une variété d'applications dans l'industrie des semi-conducteurs. Le graphite enduit de carbure de silicium est le principal matériau utilisé pour fabriquer ces opérateurs actuels. Il a une conductivité thermique élevée, plus de 10 fois la conductivité thermique du substrat saphir. Cette propriété, combinée à sa résistance au champ électrique à rouleau élevé et à sa densité de courant maximale, a incité l'exploration du carbure de silicium en tant que remplacement potentiel du silicium dans une variété d'applications, en particulier dans les composants de haute puissance semi-conducteurs. Les plaques de support de courant SIC ont une conductivité thermique élevée, ce qui les rend idéales pourProcessus de fabrication LED. 


Ils garantissent une dissipation de chaleur efficace et fournissent une excellente conductivité électrique, contribuant à la production de LED à haute puissance. De plus, ces plaques de transport ont une excellenterésistance au plasmaet une longue durée de vie, assurant des performances et une vie fiables dans l'environnement de fabrication de semi-conducteurs exigeants.


VetekSeMICON a établi des relations coopératives à long terme avec de nombreux fabricants de semi-conducteurs. Nous sommes également impatients de créer un partenariat à long terme avec vous.


Paramètre de produit du transporteur de gravure ICP en revêtement SIC:

Propriétés physiques de base deRevêtement CVD sic
Propriété Valeur typique
Structure cristalline FCC β phase polycristalline, principalement (111) orienté
Densité 3,21 g / cm³
Dureté 2500 Vickers dureté (charge de 500 g)
Taille des grains 2 ~ 10 mm
Pureté chimique 99,99995%
Capacité thermique 640 J · kg-1· K-1
Température de sublimation 2700 ℃
Résistance à la flexion 415 MPA RT 4 points
Module de jeunes 430 GPA 4pt Bend, 1300 ℃
Conductivité thermique 300W · M-1· K-1
Expansion thermique (CTE) 4,5 × 10-6k-1


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Aperçu de la chaîne de l'industrie de l'épitaxie des puces semi-conductrices:

Overview of the semiconductor chip epitaxy industry chain


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