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PSS Gravure-plaque de support pour semi-conducteur
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PSS Gravure-plaque de support pour semi-conducteur

La plaque porteuse de gravure PSS de semi-conducteur de Vetek pour le semi-conducteur est un porte-graphite ultra-pure de haute qualité conçu pour les processus de manipulation de la plaquette. Nos transporteurs ont d'excellentes performances et peuvent bien performer dans des environnements difficiles, des températures élevées et des conditions de nettoyage chimique sévères. Nos produits sont largement utilisés sur de nombreux marchés européens et américains, et nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine. Vous êtes invités à venir en Chine pour visiter notre usine et en savoir plus sur notre technologie et nos produits.
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Description du produit

En tant que fabricant professionnel de premier plan sur le terrain, Vetek Semiconductor est ravi de vous offrir des plaques de transport de gravure PSS de premier ordre spécialement conçues pour l'industrie des semi-conducteurs.


Nos plaques de support de gravure PSS pour les semi-conducteurs sont des composants hautement spécialisés qui sont indispensables dans les procédures de gravure de la spectroscopie source (PSS) dans le domaine de fabrication de semi-conducteurs. Ces plaques assument un rôle central pendant le processus de gravure. Ils fournissent un soutien stable et assurent le transport en douceur des plaquettes de semi-conducteur, ce qui est crucial pour la précision et la qualité de l'opération de gravure.


Nous vous invitons chaleureusement à nous contacter pour toute demande. Nous sommes toujours prêts à aider et à fournir des informations plus détaillées sur nos produits exceptionnels.




PSS Gravure-plaque de support pour semi-conducteurCaractéristiques clés:

● Conception de précision: La plaque porteuse est conçue avec des dimensions précises et une planéité de surface pour assurer une gravure uniforme et cohérente à travers les plaquettes de semi-conducteur. Il fournit une plate-forme stable et contrôlée pour les plaquettes, permettant des résultats de gravure précis et fiables.

● Résistance au plasma: La plaque porteuse présente une excellente résistance au plasma utilisé dans le processus de gravure. Il n'est pas affecté par les gaz réactifs et le plasma à haute énergie, garantissant une durée de vie prolongée et des performances constantes.

● Conductivité thermique: La plaque porteuse présente une conductivité thermique élevée pour dissiper efficacement la chaleur générée pendant le processus de gravure. Cela aide à maintenir un contrôle optimal de la température et empêche la surchauffe des plaquettes de semi-conducteur.

● Compatibilité: La plaque de support de gravure PSS est conçue pour être compatible avec diverses tailles de plaquettes semi-conductrices couramment utilisées dans l'industrie, assurant la polyvalence et la facilité d'utilisation dans différents processus de fabrication.


Paramètre de produit de la plaque de support de gravure PSS pour semi-conducteur

Propriétés physiques de base du revêtement CVD SIC
Propriété Valeur typique
Structure cristalline FCC β phase polycristalline, principalement (111) orienté
Densité de revêtement sic 3,21 g / cm³
CVD SIC Revat dureté 2500 Vickers dureté （charge de 500 g）
Taille des grains 2 ~ 10 μm
Pureté chimique 99,99995%
Capacité thermique 640 J · kg-1· K-1
Température de sublimation 2700 ℃
Résistance à la flexion 415 MPA RT 4 points
Module de Young 430 GPA 4pt Bend, 1300 ℃
Conductivité thermique 300W · M-1· K-1
Expansion thermique (CTE) 4,5 × 10-6K-1



It semi-conducteur PSS Gravure-plaque de support pour semi-conducteurBoutique de production

SiC Graphite substrateCVD TaC coating cover testSilicon carbide ceramic processingEPI process equipment



Aperçu de la chaîne de l'industrie de l'épitaxie des puces semi-conductrices:

SiC Epitaxy Si Epitaxy GaN Epitaxy

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