Mandrin à vide en céramique SiC pour plaquette

Le mandrin à vide en céramique Veteksemicon sic pour tranches est un composant de base développé spécifiquement pour la fabrication de semi-conducteurs de troisième génération, optimisé pour les environnements de traitement à haute température et haute pression rencontrés par les tranches. Fabriqués à partir de matériaux céramiques de haute pureté, d'un usinage de précision et d'un traitement de surface spécialisé, ils garantissent des performances de maintien sous vide stables et une excellente stabilité thermique dans le processus exigeant de fabrication de semi-conducteurs. Nos mandrins à vide ont été éprouvés sur le terrain par des centaines de fabricants de semi-conducteurs, démontrant d'excellentes performances dans des processus critiques tels que l'épitaxie SiC, l'implantation ionique et la photolithographie. Ils résolvent efficacement les problèmes de déformation des plaquettes et de précision de positionnement causés par la dureté élevée des matériaux et les températures de processus élevées.

Informations générales sur le produit

Conditions commerciales du produit

Application: Le mandrin à vide en céramique Veteksemicon pour plaquettes est fabriqué à partir de matériaux céramiques de haute performance et usiné avec précision pour garantir une surface ultra-plate et une excellente stabilité thermique. Il fournit des solutions fiables d'adsorption de plaquettes et de contrôle de la température pour des processus tels que la croissance épitaxiale, l'implantation ionique et la photolithographie, améliorant efficacement le rendement du processus et l'efficacité de la production.

Services pouvant être fournis: analyse de scénarios d'application client, mise en adéquation des matériaux, résolution de problèmes techniques.

Profil de l'entreprise：Veteksemicon dispose de 2 laboratoires, d'une équipe d'experts avec 20 ans d'expérience dans les matériaux, avec des capacités de R&D et de production, de test et de vérification.

Mandrin à vide en céramique Veteksemicon pour les avantages du noyau de plaquette

 ● Percée en science des matériaux

Mon rival utilise une formulation de matériau et un processus de frittage uniques pour améliorer considérablement la résistance mécanique et la stabilité thermique de ses produits tout en conservant les excellentes propriétés isolantes des matériaux céramiques. Nos céramiques à base d'alumine utilisent des matières premières de haute pureté et une formulation d'additifs spéciaux, garantissant une excellente stabilité dimensionnelle même dans des environnements à haute température. Nos céramiques à base de carbure de silicium, grâce à un processus de frittage optimisé, atteignent une conductivité thermique plus élevée et une adaptation thermique améliorée, ce qui les rend particulièrement bien adaptées au traitement des plaquettes SiC à haute température.

 ● Excellentes performances de gestion thermique

Notre conception multicouche unique et notre usinage de précision garantissent que le mandrin conserve une excellente uniformité thermique même dans des conditions de fonctionnement à haute température. Le mandrin en carbure de silicium présente une conductivité thermique supérieure à 200 W/m·K, permettant un équilibrage rapide de la température et maintenant les variations de température de la surface de la tranche à ±0,8°C. Cette capacité supérieure de gestion thermique évite efficacement les défauts de processus causés par les variations de température et améliore considérablement le rendement du produit.

● Technologie d'usinage d'ultra-précision

Mon rival possède des centres d'usinage de précision de premier plan en Chine, utilisant des processus de meulage et de polissage uniques pour obtenir une planéité de surface submicronique. Nos mandrins en carbure de silicium atteignent une planéité de surface inférieure à 0,8 μm, avec une valeur Ra ​​de rugosité de surface ne dépassant pas 0,1 μm. Cette qualité de surface ultra-précise garantit un ajustement parfait entre la plaquette et le mandrin, fournissant ainsi une référence plate fiable pour les processus de précision tels que la photolithographie.

● Durée de vie améliorée

Grâce à des formulations de matériaux optimisées et une conception structurelle renforcée, nos produits ont une durée de vie supérieure à 40 % par rapport aux produits traditionnels. Des technologies spéciales de renforcement des bords et de revêtement de surface permettent à nos produits de résister aux opérations fréquentes de serrage et de nettoyage. Les produits à base d'alumine sont garantis pour fonctionner plus de 200 000 fois, tandis que les produits à base de carbure de silicium peuvent atteindre plus de 500 000 cycles, réduisant considérablement les coûts d'exploitation pour nos clients.

● Avenant de vérification de la chaîne écologique

Le mandrin à vide en céramique Veteksemicon pour la vérification de la chaîne écologique des plaquettes couvre les matières premières jusqu'à la production, a passé la certification des normes internationales et dispose d'un certain nombre de technologies brevetées pour garantir sa fiabilité et sa durabilité dans les domaines des semi-conducteurs et des nouvelles énergies.

Pour des spécifications techniques détaillées, des livres blancs ou des modalités de test d'échantillons, veuillezcontactez notre équipe de support techniquepour découvrir comment Veteksemicon peut améliorer l'efficacité de vos processus.