Buse en céramique semi-conductrice

La buse en céramique semi-conductrice joue un rôle important dans leProcessus HDP-CVD, utilisé pour contrôler avec précision le débit de gaz et assurerDépôt de films de haute qualité. La pulvérisation par buse en céramique est conçue avec précision pour garantir des débits de gaz constants et contrôlables, minimisant ainsi les turbulences possibles lorsque le gaz pénètre dans la chambre de réaction.

Spécifications techniques:

1. Composition de sateri:

La buse de dynamitage de sable en céramique semi-conductrice vetek est généralement faite de céramiques semi-conductrices telles que l'oxyde d'aluminium (AL2O3),carbure de silicium (sic), ou de l'oxyde de zirconium (ZrO2), ces matériaux possèdent d'excellentes propriétés :

    • Stabilité thermique élevée (peut résister aux températures supérieures à 1000 ℃)

    • résistance à la corrosion par les gaz réactifs utilisés dansProcessus CVD(comme le silane, l'ammoniac)

    • résistance à une exposition continue au plasma.

2. Conception structurelle:

    • Taille de l'orifice: l'orifice de la buse céramique semi-conducteurs est scientifiquement conçu pour permettre un contrôle précis du débit de gaz, ce qui affecte à son tour l'uniformité et l'épaisseur du film.

    • Angles et géométries : Conçus avec précision pour assurer une distribution uniforme du gaz sur le substrat, minimisant ainsi les défauts dans la couche déposée.

Dans l'industrie des semi-conducteurs, la buse de souffle en céramique semi-conductrice joue un rôle clé principalement dans le processus HDP-CVD. Ils sont également utilisés pour déposer des couches minces pour la production de microélectronique, garantissant des revêtements de surface de haute qualité uniformes et exempts de contaminants.

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