Chuck électrostatique en céramique

Les processus de production de semi-conducteurs, en particulier le traitement des plaquettes, sont effectués dans un environnement sous vide et les tranches de serrage mécaniquement portent 

certains risques. Lorsque la force est concentrée sur le point de serrage, les plaquettes fragiles de silicium peuvent perdre de minuscules fragments, causant de graves dommages à la production de tranche.

Dans ce cas, le mandrin électrostatique en céramique devient un meilleur choix, qui corrige la tranche par force électrostatique. La force électrostatique agit uniformément sur la tranche, de sorte que la tranche peut être fixe, améliorant la précision du processus.

Selon les documents de recherche pertinents, le mandrin électrostatique en céramique a une aspiration plus forte que les autres enfants électrostatiques. Par exemple, le chuck électrostatique en céramique a une aspiration beaucoup plus forte que le fil électrostatique du film pour animaux de compagnie.

Le mandrin de céramique est généralement composé de matériaux en céramique haute performance tels que Al2O3, ALN ou SIC, qui présente une résistance élevée à la chaleur, une isolation et une résistance à la corrosion. Le mandrin en céramique poreux en sic est non seulement stable à des températures extrêmes, mais empêche également efficacement la dégradation de l'E céramique en raison des réactifs chimiques et de la gravure du plasma pendant le processus de fabrication.

Contrôle de la température: La conductivité thermique élevée et les propriétés thermiques stables des matériaux en céramique permettent le mandrin de vide en céramique d'alumine pour contrôler efficacement la température, optimisant ainsi la distribution de la température pendant le processus.

Adaptabilité de l'aspirateur: Le mandrin électrostatique en céramique convient aux environnements sous vide, en particulier dans les processus de gravure à basse pression et à haute précision.

Faible génération de particules: Le chuck en céramique SIC poreux a une surface lisse, ce qui peut réduire la contamination des particules pendant la fixation des plaquettes et aider à améliorer le rendement des produits.

Application: principalement utilisé dans la fabrication de semi-conducteurs, le mandrin électrostatique en céramique détachable offrant un positionnement et une stabilité précis, ce qui est très utile pour la lithographie, la gravure et d'autres processus de fabrication de traitement de la plaquette semi-conducteurs. Assurez-vous que la plaquette est intacte pendant le traitement et améliorez la qualité de la production de puces.

It semi-conducteurBoutiques de production en céramique E-Chuck: