Alumine en céramique sous vide

Le mandrin sous vide en céramique en alumine est un support de plaquette pour les processus épitaxiaux dans le traitement des semi-conducteurs. Il s'agit d'un outil clé pour stabiliser les plaquettes et assurer une croissance uniforme des couches épitaxiales. Il est largement utilisé dans l'équipement épitaxial tel queMocvdetLPCVD.

Vetek Semiconductor Alumina Ceramic Vacuum Chuck joue un rôle vital dans les étapes d'amincissement et de broyage de la plaquette de la fabrication de semi-conducteurs. Ces étapes impliquent une réduction avec précision de l'épaisseur de lasubstrat de plaquettePour améliorer la dissipation de la chaleur des puces, qui est essentielle pour améliorer l'efficacité et la durée de vie des dispositifs semi-conducteurs.

Compatible avec plusieurs tailles de plaquettes: Vetek Semiconductor Alumina Ceramic Vacuum Chuck est conçu pour soutenir une large gamme de tailles de plaquettes, y compris 2, 3, 4, 5, 6, 8 et 12 pouces. Cette adaptabilité le rend adapté à une variété d'environnements de production de semi-conducteurs, garantissant des performances cohérentes et fiables à différentes tailles de plaquettes.

Composition de matériaux supérieurs: La base du mandrin sous vide en céramique en alumine est en alumine ultra-pure à 99,9999% (AL₂O₃), qui offre une excellente résistance à l'attaque chimique et à la stabilité thermique. La surface du mandrin est faite de poreusecarbure de silicium (sic). Le matériau en céramique poreux a une structure dense et uniforme, ce qui améliore sa durabilité et ses performances.

AvantagesTechnologie de céramique poreuse：

Pureté des matériaux et durabilité: Fabriqué d'alumine pure à 99,99%, notre mandrin sous vide en céramique en alumine résiste à l'attaque chimique et offre une excellente stabilité thermique, ce qui le rend idéal pour des environnements de fabrication extrêmement exigeants.

Porosité optimale et perméabilité de l'air: Les micropores uniformément distribués offrent une excellente perméabilité de l'air et une force d'adsorption uniforme, ce qui entraîne un fonctionnement lisse et cohérent.

Planéité et parallélisme améliorés: Les déchucks sous vide en céramique en alumine microporeux ont une excellente planéité et un parallélisme, assurant une manipulation et une stabilité précises de la plaquette.

Capacités de service personnalisées: Veteksemi peut fournir une variété de formes personnalisables, y compris les modèles ronds, carrés, anneaux et autres, avec une épaisseur allant de 3 mm à 10 mm. Cette personnalisation garantit que nos décharges sous vide en céramique d'alumine répondent aux besoins spécifiques de différents processus de fabrication de semi-conducteurs et sont certainement votre choix idéal.

Vetek Semiconductor s'engage à fournir des technologies de pointe et des solutions de produits pour l'industrie des semi-conducteurs, et nous espérons sincèrement être votre partenaire à long terme en Chine.

LeFormule chimique decéramique en alumine：

It semi-conducteurAlumina Ceramic Vacuum Chuck Shops: