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Il existe de nombreux types d'équipements de mesure dans l'usine Fab. L'équipement commun comprend l'équipement de mesure des processus de lithographie, l'équipement de mesure des processus de gravure, l'équipement de mesure du processus de dépôt de couches minces, l'équipement de mesure du processus de dopage, l'équipement de mesure du processus CMP, l'équipement de détection de particules de plaquette et d'autres équipements de mesure.

Le revêtement en carbure de tantale (TaC) peut prolonger considérablement la durée de vie des pièces en graphite en améliorant la résistance aux températures élevées, la résistance à la corrosion, les propriétés mécaniques et les capacités de gestion thermique. Ses caractéristiques de haute pureté réduisent la contamination par les impuretés, améliorent la qualité de la croissance des cristaux et améliorent l'efficacité énergétique. Il convient aux applications de fabrication de semi-conducteurs et de croissance cristalline dans des environnements à haute température et hautement corrosifs.

Les revêtements de carbure de tantale (TAC) sont largement utilisés dans le champ semi-conducteur, principalement pour les composants de réacteurs de croissance épitaxiale, les composants clés de croissance monocristalliers, les composants industriels à haute température, les chauffeurs de système MOCVD et les porteurs de la tranche.

Pendant le processus de croissance épitaxiale du SIC, une défaillance de la suspension en graphite enrobée du SIC peut se produire. Cet article effectue une analyse rigoureuse du phénomène de défaillance de la suspension de graphite enrobée SIC, qui comprend principalement deux facteurs: insuffisance du gaz épitaxiale SIC et défaillance du revêtement SIC.