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Découvrez comment Vetek a éliminé la fissuration radiale dans les suscepteurs en graphite MOCVD de grande taille à revêtement SiC. La refonte du tampon de contrainte structurelle et la correspondance CTE ont augmenté la durée de vie de 300 %+.

Une décennie d'évolution du SiC — depuis les premiers défis de commercialisation du 4 pouces jusqu'à la transition actuelle vers les tranches de 8 pouces. Découvrez comment les revêtements CVD SiC, les matériaux Solid SiC et TaC permettent une fabrication fiable de semi-conducteurs.

Découvrez comment les suscepteurs en graphite à revêtement CVD SiC améliorent la croissance épitaxiale en améliorant l'uniformité thermique, en réduisant la contamination et en prolongeant la durée de vie des composants dans la fabrication de SiC, GaN, LED et semi-conducteurs en silicium.