Qu'est-ce qu'un mandrin électrostatique (ESC)?

Le mandrin électrostatique (ESC), également connu sous le nom de Chuck électrostatique (ESC, E-Chuck), est un luminaire qui utilise le principe de l'adsorption électrostatique pour maintenir et fixer le matériau adsorbé. Il convient aux environnements sous vide et plasma. Sa fonction principale est d'adsorber ultra-Nettoyez les feuilles minces (comme les tranches de silicium) et conservez le matériau adsorbé à une bonne planéité, ce qui peut également inhiber la déformation du matériau adsorbé pendant le processus et il peut ajuster la température de l'adsorbat.

Un mandrin électrostatique (ESC) est un type spécial de mandrin qui utilise la force électrostatique pour maintenir, appuyer et ramasser des objets (pièces). Tout matériau porte des charges positives et négatives qui sont invisibles à l'œil nu. Lorsque le matériau est placé sur l'ESC et qu'une tension bipolaire est appliquée aux électrodes internes de l'ESC, les charges positives et négatives se déplaceront dans le matériau pour correspondre à la polarité des électrodes internes de l'ESC. Cette attraction entre l'ESC et le matériau est appelée force électrostatique et est également le principe fondamental derrière nos mandrins.

Avantages du produit

Il a une large plage de températures de fonctionnement (-50 à 700 ℃)

Ces ventouses électrostatiques présentent une excellente résistance, une conductivité thermique et une résistance aux chocs thermiques, et peuvent s'adapter à une large plage de températures par le contrôle de la résistivité du volume en céramique propriétaire de NGK.

Résistance élevée à la corrosion

Ces ventouses électrostatiques ont une excellente résistance à la corrosion aux gaz halogènes.

Traitement à faible particule

Un traitement à faible particule peut être obtenu par traitement de surface et nettoyage spécial

Pureté élevée

Des produits avec une pureté de 99,9% ou plus sont également disponibles.

Fonction de chauffage

La technologie d'incorporation de l'élément de chauffage de haute précision peut être intégrée à la fonction de chauffage, et la température de la plaquette peut être contrôlée à ± 1%.

Fonction de refroidissement

Ces ventouses électrostatiques ont des performances de refroidissement extrêmement élevées en liant des plaques en céramique avec une conductivité thermique élevée et des plaques de refroidissement.

Électrode radiofréquence

Les électrodes en métal en vrac peuvent simultanément fournir un serrage de plaquettes stables et une génération de plasma radiofréquence.

Paramètre

1.Dans le domaine de la fabrication semi-conducteurs et électroniques: pendant les processus de fabrication semi-conducteurs et électroniques, des ventouses électrostatiques sont utilisées pour réparer et gérer des plaquettes de silicium minces et fragiles, des plaquettes, etc. Ses avantages se trouvent dans une forte force d'adsorption, pas de stress mécanique, et un fonctionnement simple, ce qui améliore efficacement l'efficacité de la production et la qualité des produits.

2.

3. Fabrication de machines de précision et de composants optiques: Pour les machines de précision et les composants optiques, les ventouses électrostatiques peuvent fournir une force d'adsorption stable, empêcher la déformation ou les rayures pendant le traitement.

4. Lignes de production automatisées: Dans les lignes de production automatisées, les sous-tasses électrostatiques sont largement utilisées dans le positionnement, la manipulation et l'assemblage des pièces, etc., améliorant le degré d'automatisation et d'efficacité de la ligne de production.