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Le matériau central du bateau en graphite PECVD est un matériau de graphite isotrope de haute pureté (la pureté est généralement ≥99,999%), qui a une excellente conductivité électrique, une conductivité thermique et une densité. Par rapport aux bateaux en graphite ordinaires, les bateaux en graphite PECVD présentent de nombreux avantages de propriété physique et chimique et sont principalement utilisés dans les industries semi-conductrices et photovoltaïques, en particulier dans les processus PECVD et CVD.

Les plateaux de graphite MOCVD jouent un rôle important dans le processus épitaxial. Cet article fait une analyse détaillée sur la sélection des plateaux de graphite MOCVD du point de vue des propriétés des matériaux et des scénarios d'application.

Les matériaux en graphite ont une large gamme de scénarios d'application. Parmi eux, le graphite isotrope et le graphite siliconisé sont les deux principaux types différents de matériaux de graphite, et leurs caractéristiques, les scénarios d'application et les avantages sont considérablement différents. Ce blog effectuera une analyse comparative de trois aspects: caractéristiques structurelles, scénarios d'application et avantages du produit.

La céramique en carbure de silicium, communément appelée céramique SIC, est un matériau polyvalent aux propriétés uniques et un large éventail d'applications dans diverses industries. Ce qui suit est une discussion détaillée de sa composition matérielle, des propriétés physiques, des applications spécifiques et des avantages dans les processus de revêtement semi-conducteur et des problèmes communs rencontrés pendant le traitement.