Du processus de fabrication des sous-trousses électrostatiques aux fabricants de production de masse

Le principe de déchaillage duMandrin électrostatiqueest un élément clé de son flux de travail qui implique l'élimination de la force électrostatique et les mécanismes de libération de la plaquette. Ce qui suit est une analyse détaillée:

Le noyau de DeChuck est d'éliminer ou de neutraliser la force électrostatique adsorbée sur la tranche, et les méthodes spécifiques incluent:

YoudaoplaceHolder0 coupe la puissance

Arrêtez d'appliquer une tension de courant direct à l'électrode pour éliminer progressivement le champ électrique.

YoudaoplaceHolder0 Tension inverse ou injection de gaz ‌

Certains systèmes appliqueront la tension inverse ou introduiront les gaz inertes (comme lui, n₂) pour accélérer la neutralisation des charges ou la séparation physique.

Comparons les techniques professionnelles de la production ESC et voyons d'abord si l'entreprise peut atteindre une telle échelle.

Technologie d'analyse CAE, matériaux fonctionnels de la plaque, conception d'électrodes, technologie d'analyse, technologie de canal de refroidissement, technologie de conception de chauffage, personnel senior en équipement semi-conducteur.

Les sociétés japonaises et sud-coréennes doivent être entièrement dotées de personnel aussi pertinent. Sinon, il n'est pas nécessaire de parler de la technologie de l'entreprise.

La technologie de Chuck, les électrodes, les disques et même le principe de HE Flow n'ont pas encore été clarifiés. Faisons une tasse à vent électrostatique rugueuse. Ces entreprises sont directement transmises. Ils sont essentiellement utilisés pour freiner l'argent des investisseurs. C'est le niveau de base de savoir comment. Les investisseurs devraient également abandonner une entreprise qui joue avec des jeux de cartes et n'a pas d'employés avec plus de 10 ans d'expérience dans l'équipement de gravure, car ce n'est pas une entreprise qui fait des choses pratiques.

En ce qui concerne le tir de la poudre dans l'industrie, tout le monde est dans le même domaine. Chacun a sa propre formule unique. Lequel n'a pas la force d'être équipé de surfaces en céramique fritte? Les investisseurs peuvent également transmettre ces configurations ou entreprises qui ne les ont pas pleinement saisies, car leur logique fondamentale est la même: elles visent à gagner de l'argent, pas à développer des produits.

En ce qui concerne la réparation, de nombreuses entreprises nationales devraient avoir les capacités correspondantes de L1 à L3. Même si les capacités font un peu défaut, L1 peut toujours le gérer. Pour L3 et plus, il ne peut pas être réparé, soit il peut être sous-traité. En tout cas, il existe encore un moyen de le réparer.

L1 Réparation de la surface Réparation, amélioration de la rugosité en surface / Amélioration de la planéité / régénération de la bosse.

Réparation de L2: Réparation de la couche joint, Rebonding de la base métallique et disque en céramique / Remplacement de la couche articulaire.

L3 Réparation de remplacement du disque en céramique, fabrication / rebond de disque en céramique de la base métallique et du disque en céramique.

Guangdong Haituo Innovation Precision Equipment Technology Co., Ltd

La société occupe une position de premier plan dans la conception et la production de mandrins et d'équipements électrostatiques intérieurs basés sur des mandrins électrostatiques comme technologie de base. À l'heure actuelle, Haituo Innovation a réalisé une production commerciale de ventouses électrostatiques et a terminé la livraison de déchucks électrostatiques Fab Semiconductor de 4 pouces à 12 pouces.

Beijing Huazhuo Jingke Technology Co., Ltd

Les ventouses électrostatiques développées indépendamment par l'entreprise se conforment aux normes et traitements pertinentsExigences de l'industrie des semi-conducteurs. Les ventouses électrostatiques en aluminium PVD de 12 pouces développées à un stade précoce ont, dans une certaine mesure, brisé le monopole à long terme des fabricants étrangers dans ce domaine de produit. À l'heure actuelle, Huazhuo Jingke a appliqué la technologie connexe des successions électrostatiques à la fabrication de produits et réalisé une production de masse à petite échelle. Il peut également fournir des produits personnalisés aux clients.

Fondé en 2016, est l'un des principaux fournisseurs de matériel de revêtement avancé pour l'industrie des semi-conducteurs. Notre fondateur, un ancien expert de l'Institut des matériaux de l'Académie chinoise des sciences, a établi l'entreprise en mettant l'accent sur le développement de solutions de pointe pour l'industrie.

Nos principales offres de produits comprennent des revêtements de carbure de silicium CVD (SIC), des revêtements de carbure de tantale (TAC), des sic en vrac, des poudres de sic et des matériaux sic de haute pureté. Les principaux produits sont le suscepteur en graphite enduit de SiC, les anneaux de préchauffage, le cycle de détournement en revêtement TAC, les pièces demi-lune, etc., la pureté est inférieure à 5 ppm, peut répondre aux exigences des clients.

Zhejiang Xinna Materials Technology Co., Ltd

Les produits électrostatiques de la ventouse développés par l'informatique ont des indicateurs de performance qui peuvent répondre aux exigences des entreprises de fabrication de puces. Ils présentent des propriétés exceptionnelles telles que la température contrôlable, la force d'adsorption uniforme, pas de rayures ni de rides pendant l'adsorption et aucun effet d'exclusion de bord sur les plaquettes. Ils ont été certifiés par les principales entreprises nationales de l'industrie des semi-conducteurs telles que Yangtze Memory Technologies, Silan Microelectronics et North China Innovation et ont réalisé des ventes. Il a rompu le monopole des fabricants étrangers dans ce domaine de produit.

Hebei Zhongci Electronic Technology Co., Ltd

En 2022, la société a fait des mouvements stratégiques dans le domaine des composants en céramique de précision, réalisant la localisation de pièces de précision hautement techniques telles que les plaques de chauffage et les déchauffes électrostatiques. Les indicateurs techniques de base des plaques de chauffage en céramique développées par Zhongci Electronics ont atteint le niveau de produits internationaux similaires et ont été vérifiés par les utilisateurs. Ils ont été appliqués par lots dans les principaux équipements de semi-conducteurs intérieurs. Des plaques de chauffage en céramique ont été livrées en vrac et des mandrins électrostatiques ont été envoyés pour des tests d'échantillons.