Sic enduit UV profond LED Suscepteur

Sic enduit de SIC Deep LED Le suscepteur est la composante de roulement du noyau dansÉquipement MOCVD (Metal Organic Chemical Vapor Deposition). Le suscepteur affecte directement l'uniformité, le contrôle de l'épaisseur et la qualité du matériau de la croissance épitaxiale LED des UV profonde, en particulier dans la croissance de la couche épitaxiale de nitrure d'aluminium (ALN) avec une teneur élevée en aluminium, la conception et les performances du suscepteur sont cruciales.

Le suscepteur LED en UV profond revêtu de SiC est spécialement optimisé pour une épitaxie LED UV profonde et est conçue avec précision sur la base des caractéristiques environnementales thermiques, mécaniques et chimiques pour répondre aux exigences de processus strictes.

Vetek Semiconductor utilise une technologie de traitement avancée pour assurer une distribution de chaleur uniforme du suscepteur dans la plage de température de fonctionnement, en évitant la croissance non uniforme de la couche épitaxiale causée par le gradient de température. Le traitement de précision contrôle la rugosité de la surface, minimise la contamination des particules et améliore l'efficacité de conductivité thermique du contact de surface de la tranche.

Vetek Semiconductor utilise le graphite SGL comme matériau, et la surface est traitée avecRevêtement CVD sic, qui peut résister au NH3, au HCl et à l'atmosphère à haute température pendant longtemps. Le suscepteur LED profondément UV enduit de semi-conducteur de Vetek correspond au coefficient de dilatation thermique des plaquettes épitaxiales ALN / GaN, réduisant la déformation ou les fissures de la plaquette causée par la contrainte thermique pendant le processus.

Plus important encore, le suscepteur LED des UV profondément enduit de SIC enduit de Vetek semi-conducteur s'adapte parfaitement à l'équipement MOCVD traditionnel (y compris Veeco K465i, Epik 700, Aixtron Crius, etc.). Prend en charge les services personnalisés pour la taille de la tranche (2 ~ 8 pouces), la conception de machines à sous, la température du processus et d'autres exigences.

Scénarios d'application:

● Préparation de LED UV profonde: Applicable au processus épitaxial des appareils dans la bande inférieure à 260 nm (désinfection UV-C, stérilisation et autres champs).

● Épitaxie semi-conducteur au nitrure: Utilisé pour la préparation épitaxiale des matériaux semi-conducteurs tels que le nitrure de gallium (GAN) et le nitrure d'aluminium (ALN).

● Expériences épitaxiales au niveau de la recherche: Épitaxy UV profonde et nouvelles expériences de développement des matériaux dans les universités et les institutions de recherche.

Avec le soutien d'une équipe technique solide, Vetek Semiconductor est en mesure de développer des suscepteurs avec des spécifications et des fonctions uniques en fonction des besoins des clients, de soutenir des processus de production spécifiques et de fournir des services à long terme.

Données SEM du film de revêtement CVD SIC:

Propriétés physiques de base du revêtement CVD SIC:

It semi-conducteurSic enduit de produits de produit SIC UV LED: