CVD SIC Pancake Suscepteur

It semi-conducteur CVD SIC Pancake Swe suscepteur est fabriqué à l'aide de la dernière technologie de dépôt chimique de vapeur (CVD) pour assurer une excellente durabilité et une adaptabilité de température extrême. Voici ses principales propriétés physiques:

● Stabilité thermique: La stabilité thermique élevée du CVD SIC assure des performances stables dans des conditions de température élevées.

● Coefficient de dilatation thermique: Le matériau a un coefficient d'extension thermique extrêmement faible, ce qui minimise la déformation et la déformation causées par les changements de température.

● Résistance à la corrosion chimique: Une excellente résistance chimique lui permet de maintenir des performances élevées dans une variété d'environnements difficiles.

Support précis et transfert de chaleur optimisé

Le revêtement SIC basé sur le suscepteur de crêpes de Veteksemi est conçu pour accueillir des plaquettes de semi-conducteur et fournir un excellent soutien pendant le dépôt épitaxial. Le SIC Pancake Sondor est conçu en utilisant une technologie de simulation de calcul avancée pour minimiser la déformation et la déformation dans différentes conditions de température et de pression. Son coefficient de dilatation thermique typique est d'environ 4,0 × 10^-6/ ° C, ce qui signifie que sa stabilité dimensionnelle est nettement meilleure que les matériaux traditionnels dans des environnements à haute température, garantissant ainsi la consistance de l'épaisseur de la tranche (généralement de 200 mm à 300 mm).

De plus, le suscepteur de crêpes CVD excelle dans le transfert de chaleur, avec une conductivité thermique allant jusqu'à 120 w / m · k. Cette conductivité thermique élevée peut entraîner rapidement et efficacement la chaleur, améliorer l'uniformité de la température dans le four, assurer une distribution de chaleur uniforme pendant le dépôt épitaxial et réduire les défauts de dépôt causés par une chaleur inégale. Les performances optimisées du transfert de chaleur sont essentielles pour améliorer la qualité des dépôts, ce qui peut réduire efficacement les fluctuations des processus et améliorer le rendement.

Grâce à ces optimisations de conception et de performances, le suscepteur de crêpes CVD SIC de Vetek Semiconductor fournit une base solide pour la fabrication de semi-conducteurs, garantissant la fiabilité et la cohérence dans les conditions de traitement sévères et répondant aux exigences strictes de l'industrie des semi-conducteurs modernes pour une haute précision et une qualité.

CVD SIC Film Structure cristalline

Propriétés physiques de base du revêtement CVD SIC

Propriétés physiques de base du revêtement CVD SIC
Propriété	Valeur typique
Structure cristalline	FCC β phase polycristalline, principalement (111) orienté
Densité	3,21 g / cm³
Dureté	2500 Vickers dureté （charge de 500 g）
Taille des grains	2 ~ 10 mm
Pureté chimique	99,99995%
Capacité thermique	640 J · kg-1· K-1
Température de sublimation	2700 ℃
Résistance à la flexion	415 MPA RT 4 points
Module de Young	430 GPA 4pt Bend, 1300 ℃
Conductivité thermique	300W · M-1· K-1
Expansion thermique (CTE)	4,5 × 10-6K-1