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HalfMoon partie supérieure en revêtement sic
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HalfMoon partie supérieure en revêtement sic

Vetek Semiconductor est l'un des principaux fournisseurs de SIC Half HalfMoon de la Chine, spécialisés dans les matériaux avancés depuis plus de 20 ans. Vetek Semiconductor HalfMoon Part SIC Le revêtement est spécialement conçu pour l'équipement épitaxial SIC, servant de composant crucial dans la chambre de réaction. Fabriqué à partir de graphite ultra-pure et semi-conducteur, il garantit d'excellentes performances. Nous vous invitons à visiter notre usine en Chine.

En tant que fabricant professionnel, nous aimerions vous fournir une pièce de SIC supérieure supérieure de haute qualité.

Vetek Semiconductor HalfMoon partie HalfMoon SIC revêtement est spécialement conçu pour la chambre épitaxiale SIC. Ils ont une large gamme d'applications et sont compatibles avec divers modèles d'équipement.

Scénario d'application:

Chez Vetek Semiconductor, nous nous spécialisons dans la fabrication de SIC HalfMoon de haute qualité. Nos produits à revêtement SIC et TAC sont spécialement conçus pour les chambres épitaxiales SIC et offrent une large compatibilité avec différents modèles d'équipement.

Vetek Semiconductrice HalfMoon Part SIC Le revêtement sert de composants dans la chambre épitaxiale SIC. Ils garantissent des conditions de température contrôlées et un contact indirect avec des plaquettes, en maintenant un contenu d'impureté inférieur à 5 ppm.

Pour assurer une qualité optimale de la couche épitaxiale, nous surveillons soigneusement les paramètres critiques tels que l'épaisseur et l'uniformité de la concentration de dopage. Notre évaluation comprend l'analyse de l'épaisseur du film, de la concentration de porteurs, de l'uniformité et des données de rugosité de surface pour obtenir une meilleure qualité de produit.

Le revêtement supérieur de Vetek Semiconductor HalfMoon en revêtement SIC est compatible avec divers modèles d'équipement, y compris LPE, Naura, JSG, CETC, NASO Tech, etc.

Contactez-nous dès aujourd'hui pour explorer notre partie supérieure supérieure de haute qualité en revue sic ou horaireUne visite à notre usine.


Propriétés physiques de base du revêtement CVD SIC:

Propriétés physiques de base du revêtement CVD SIC
Propriété Valeur typique
Structure cristalline FCC β phase polycristalline, principalement (111) orienté
Densité 3,21 g / cm³
Dureté 2500 Vickers dureté (charge de 500 g)
Taille des grains 2 ~ 10 mm
Pureté chimique 99,99995%
Capacité thermique 640 J · kg-1· K-1
Température de sublimation 2700 ℃
Résistance à la flexion 415 MPA RT 4 points
Module de Young 430 GPA 4pt Bend, 1300 ℃
Conductivité thermique 300W · M-1· K-1
Expansion thermique (CTE) 4,5 × 10-6K-1


CVD SIC COATING FILM CRYSTAL STRUCTURE


Comparez l'atelier de production de semi-conducteurs:

VeTek Semiconductor Production Shop


Aperçu de la chaîne de l'industrie de l'épitaxie des puces semi-conductrices:

Overview of the semiconductor chip epitaxy industry chain


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