Pièce demi-lune de 8 pouces pour réacteur LPE

En tant que fabricant professionnel, VeTek Semiconductor souhaite vous fournir une pièce demi-lune de 8 pouces de haute qualité pour le réacteur LPE.

La pièce demi-lune VeTek Semiconductor de 8 pouces pour réacteur LPE est un composant essentiel utilisé dans les processus de fabrication de semi-conducteurs, en particulier dans les équipements épitaxiaux SiC. VeTek Semiconductor utilise une technologie brevetée pour produire des pièces en demi-lune de 8 pouces pour le réacteur LPE, garantissant ainsi une pureté exceptionnelle, un revêtement uniforme et une longévité exceptionnelle. De plus, ces pièces présentent des propriétés remarquables de résistance chimique et de stabilité thermique.

Le corps principal de la partie demi-lune de 8 pouces pour réacteur LPE est fabriqué à partir de graphite de haute pureté, qui offre une excellente conductivité thermique et stabilité mécanique. Le graphite de haute pureté est choisi pour sa faible teneur en impuretés, garantissant une contamination minimale pendant le processus de croissance épitaxiale. Sa robustesse lui permet de résister aux conditions exigeantes au sein du réacteur LPE.

Les pièces de graphite en revêtement en revêtement en revêtement en sic VeTek sont fabriquées avec la plus grande précision et l'attention aux détails. La haute pureté des matériaux utilisés garantit des performances et une fiabilité supérieures dans la fabrication de semi-conducteurs. Le revêtement uniforme sur ces pièces assure un fonctionnement cohérent et efficace tout au long de leur durée de vie.

L'un des principaux avantages de nos pièces en graphite en revêtement en SiC est leur excellente résistance chimique. Ils peuvent résister à la nature corrosive de l'environnement de fabrication de semi-conducteurs, assurant une durabilité durable et minimisant le besoin de remplacements fréquents. De plus, leur stabilité thermique exceptionnelle leur permet de maintenir leur intégrité structurelle et leur fonctionnalité dans des conditions à haute température.

Nos pièces demi-lune en graphite revêtu de SiC ont été méticuleusement conçues pour répondre aux exigences strictes des équipements épitaxiaux SiC. Grâce à leurs performances fiables, ces pièces contribuent au succès des procédés de croissance épitaxiale, permettant le dépôt de films SiC de haute qualité.

STRUCTURE CRISTALLINE DU FILM DE REVÊTEMENT CVD SIC :