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Goupille de levage de plaquette
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Goupille de levage de plaquette

VeTek Semiconductor est l'un des principaux fabricants et innovateurs de broches de levage EPI pour plaquettes en Chine. Nous sommes spécialisés dans le revêtement SiC sur la surface du graphite depuis de nombreuses années. Nous proposons une broche de levage de plaquette EPI pour le processus Epi. Avec une qualité élevée et un prix compétitif, nous vous invitons à visiter notre usine en Chine.

Offres semi-conducteursRevêtement sicetRevêtement TACMatériel avec prix de compétition et haute qualité, bienvenue pour nous enquêter.


La broche de lifting VETEK Semiconductor EPI Wafer est un appareil clé spécialement conçu pour la fabrication de semi-conducteurs. Il est utilisé pour soulever et transporter des plafonds, assurant leur sécurité et leur stabilité pendant la fabrication. Nous fournissons une épingle de levage de plaquettes en revêtement SIC, une broche de pointe, un anneau de préchauffage pour le processus EPI.


Nos épingles d'ascenseur EPI Wafer offrent les fonctionnalités et avantages suivants:

● haute précision et stabilité: Les épingles de levage EPI Wafer utilisent des processus et des matériaux avancés pour assurer une précision élevée et une stabilité lors de la levage et de la manipulation des plaquettes. Il peut positionner avec précision et fixer des plaquettes, en évitant la déviation et les dommages des plaquettes pendant la fabrication.

● Sécurité et fiabilité: Nos broches de levage de plaquettes EPI sont fabriquées à partir de matériaux à haute résistance pour une excellente durabilité et fiabilité. Il est capable de résister au poids et à la pression, garantissant que la plaquette ne sera pas endommagée ou ne tombera pas accidentellement pendant la manipulation.

● Automatisation et efficacité: Les épingles de lifting de la plaquette VETEK Semiconductor EPI sont conçues pour fonctionner de manière autonome et intégrer de manière transparente avec l'équipement de fabrication de semi-conducteurs. Il peut soulever et déplacer des plaquettes rapidement et avec précision, augmentant l'efficacité de la production et réduisant le besoin d'opérations manuelles.

● Compatibilité et applicabilité: Les épingles de levage de plaquettes EPI conviennent à une large gamme de tailles et de types de plaquettes, y compris des plaquettes de différents diamètres et matériaux. Il peut être compatible avec une variété d'équipements et de processus de fabrication de semi-conducteurs et convient à une variété d'environnements de production.

● Support fiable et de haute qualité: Nous nous engageons à fournir des produits de haute qualité et fiables et à fournir un soutien et un service complet à nos clients. Nos épingles de levage de plaquettes subissent un contrôle et des tests de qualité rigoureux pour assurer leur performance et leur durabilité.


DONNÉES SEM DU FILM CVD SIC :

SEM DATA OF CVD SIC FILM

Propriétés physiques de base du revêtement CVD SIC:

Propriétés physiques de base deRevêtement CVD sic
Propriété Valeur typique
Structure cristalline FCC β phase polycristalline, principalement (111) orienté
Densité de revêtement CVD SIC 3,21 g/cm³
Dureté de revêtement sic 2500 Vickers dureté (charge de 500 g)
Taille des grains 2 ~ 10 mm
Pureté chimique 99,99995%
Capacité thermique 640 J · kg-1· K-1
Température de sublimation 2700 ℃
Résistance à la flexion 415 MPa RT 4 points
Module de Young Courbure 430 Gpa 4pt, 1300℃
Conductivité thermique 300W · M-1· K-1
Expansion thermique (CTE) 4,5×10-6K-1


It semi-conducteur Goupille de levage de plaquettesAtelier de production

SiC Graphite substrateWafer Lift Pin testSilicon carbide ceramic processingEPI process equipment


Aperçu de la chaîne de l'industrie de l'épitaxie des puces semi-conductrices:

SiC Epitaxy Si Epitaxy GaN Epitaxy

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