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Tantalum Carbure de carbure d'anneau
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Tantalum Carbure de carbure d'anneau

Vetek Semiconductor Tantalum Carbide Rebatide Ring est un composant indispensable dans l'industrie des semi-conducteurs, en particulier dans la gravure des plaquettes SIC. Sa combinaison d'une base de graphite et d'un revêtement TAC assure des performances supérieures dans des environnements à haute température et chimiquement agressifs. Avec sa stabilité thermique améliorée, sa résistance à la corrosion et sa résistance mécanique, l'anneau revêtu de carbure de tantale aide les fabricants de semi-conducteurs à obtenir une précision, une fiabilité et des résultats de haute qualité dans leurs processus de production.

Processus de gravure sicApplication de la bague de revêtement en carbure de tantale

Le cycle de revêtement en carbure de tantale est principalement utilisé dans le processus de croissance monocristalliste SIC, une étape essentielle de la production de dispositifs semi-conducteurs tels que les dispositifs d'alimentation et les dispositifs RF. Le revêtement en carbure de tantale (TAC) est un matériau largement utilisé dans les applications de semi-conducteurs à haute performance en raison de sa capacité à résister à un environnement sévère, des températures élevées. Le cycle de revêtement en carbure de tantale est un processus délicat qui nécessite des composants capables de résister aux conditions difficiles tout en maintenant la précision et la stabilité.

Les chercheurs ont découvert qu'en appliquant un revêtement TAC à la surface du graphite, ils pouvaient améliorer considérablement sa résistance à l'oxydation, à la corrosion, à l'usure et améliorer ses propriétés mécaniques. Ce processus de revêtement améliore les performances globales du graphite dans des environnements à haute température et corrosifs.


Environnements à haute température et à haute précision

Le cycle de revêtement TAC de Vetek Semiconductor est particulièrement utile dans les environnements semi-conducteurs à haute température où il est exposé à des températures élevées et à des gaz réactifs. C'estRevêtement TACLe protège des effets corrosifs de ces substances, en maintenant sa fonctionnalité tout au long du processus de gravure.


Manipulation de la plaquette SIC

L'anneau enduit TAC sert d'excellent support et système de soutien pourWafers SICPendant le processus de gravure. Son ajustement précis garantit que la tranche est positionnée correctement, empêchant tout mouvement pendant la gravure qui pourrait entraîner des surfaces inégales ou imparfaites.


Gravure dans la fabrication avancée de semi-conducteurs

L'anneau de revêtement en carbure de tantale joue un rôle crucial dans le maintien de la précision et de la qualité requises dans l'industrie des semi-conducteurs, en particulier dans la fabrication d'appareils avancés où l'intégrité de la tranche et la qualité du processus de gravure sont primordiales. Le cycle de revêtement TAC de haute qualité évite une erreur dans le processus de travail.


La longévité de l'anneau enduit de TAC est l'un de ses avantages les plus importants. Le revêtement TAC offre une couche de protection supplémentaire qui prolonge la durée de vie de la composante, même dans les environnements de gravure des semi-conducteurs les plus durs. Cette usure réduite se traduit non seulement par moins de remplacements, mais réduit également les coûts d'exploitation globaux pour les fabricants de semi-conducteurs. En prolongeant la durée de vie du composant, la bague de revêtement TAC offre une solution rentable pour les lignes de production à haut volume qui nécessitent des pièces fiables et durables.

En tant que fournisseur et fabricant de premier plan du cycle de revêtement en carbure de tantale en Chine, la bague revêtue de semi-conducteur VETEK TAC est une composante hautement spécialisée et indispensable dans l'industrie des semi-conducteurs, en particulier dans la gravure des plaquettes SIC. Conçu pour la durabilité et la longévité, il fournit une excellente solution pour améliorer l'efficacité et réduire les coûts opérationnels dans les applications de gravure sic. Vetek Semiconductor espère sincèrement devenir votre partenaire à long terme en Chine.

ChimiquePropriétés du revêtement TAC

Propriétés chimiques du revêtement en carbure de tantale (TAC)
Tac
B
N O Et S CL NB N / A

0.4

14 39 0.14 0.29 13 0.87 < 0,05


Propriétés physiques du revêtement TAC

PPropriétés hysiques du revêtement TAC
Densité de revêtement TAC
14.3 (g / cm³)
Émissivité spécifique
0.3
Coefficient de dilatation thermique
6.3 * 10-6/ K
Dureté de revêtement TAC (HK)
2000 HK
Résistance
1 × 10-5Ohm * cm
Stabilité thermique
<2500 ℃
Modifications de la taille du graphite
-10 ~ -20UM
Épaisseur de revêtement
Valeur typique ≥20UM (35UM ± 10UM)

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