Pièces du récepteur EPI

Informations générales sur le produit

Conditions commerciales du produit

✔ Application: Dans la recherche de performances et de rendements ultimes dans les processus épitaxiaux SiC, le suscepteur Veteksemicon EPI offre une excellente stabilité et uniformité thermique, devenant ainsi un support clé pour améliorer les performances des dispositifs de puissance et RF et réduire les coûts globaux.

✔ Services pouvant être fournis: analyse de scénarios d'application client, mise en adéquation des matériaux, résolution de problèmes techniques. 

✔ Profil de l'entreprise：Veteksemicon dispose de 2 laboratoires, d'une équipe d'experts avec 20 ans d'expérience dans les matériaux, avec des capacités de R&D et de production, de test et de vérification.

Avantages principaux de la pièce pour entrepreneur Veteksemicon EPI

1. Assurer une uniformité ultime

Dans les procédés d'épitaxie au carbure de silicium, même les fluctuations d'épaisseur au niveau du micron et les inhomogénéités de dopage ont un impact direct sur les performances et le rendement du dispositif final. Le suscepteur Veteksemicon EPI permet d'obtenir une répartition optimale du champ thermique dans la chambre de réaction grâce à une simulation thermodynamique et une conception structurelle précises. Notre sélection d'un substrat à haute conductivité thermique, combinée à un processus de traitement de surface unique, garantit que les différences de température en tout point de la surface de la plaquette sont contrôlées dans une plage extrêmement réduite, même dans des environnements de rotation à grande vitesse et à haute température. La valeur directe que cela apporte est une couche épitaxiale de lot à lot hautement reproductible avec une excellente uniformité, établissant une base solide pour la fabrication de puces de puissance hautes performances et hautement cohérentes.

2. Résister au défi des températures élevées

Les procédés d'épitaxie SiC nécessitent généralement un fonctionnement prolongé à des températures supérieures à 1 500 °C, ce qui représente un défi de taille pour tout matériau. Veteksemicon Susceptor utilise du graphite pressé isostatique spécialement traité, dont la résistance à la flexion à haute température et la résistance au fluage dépassent de loin celles du graphite ordinaire. Même après des centaines d'heures de cycles thermiques continus à haute température, notre produit conserve sa géométrie initiale et sa résistance mécanique, empêchant efficacement le gauchissement des plaquettes, le glissement ou les risques de contamination des cavités de processus causés par la déformation du plateau, garantissant fondamentalement la continuité et la sécurité des activités de production.

3. Maximiser la stabilité du processus

Les interruptions de production et la maintenance imprévue sont des facteurs de réduction majeurs des coûts dans la fabrication de plaquettes. Veteksemicon considère la stabilité des processus comme une mesure essentielle pour Susceptor. Notre revêtement CVD SiC breveté est dense, non poreux et présente une surface lisse semblable à un miroir. Cela réduit non seulement considérablement la perte de particules sous un flux d'air à haute température, mais ralentit également considérablement l'adhésion des sous-produits de réaction (tels que le SiC polycristallin) à la surface du plateau. Cela signifie que votre chambre de réaction peut rester propre pendant de plus longues périodes, prolongeant ainsi les intervalles entre le nettoyage et la maintenance réguliers, améliorant ainsi l'utilisation et le débit global de l'équipement.

4. Prolonger la durée de vie

En tant que composant consommable, la fréquence de remplacement des suscepteurs impacte directement les coûts d’exploitation de la production. Veteksemicon prolonge la durée de vie des produits grâce à une double approche technologique : « optimisation du substrat » et « amélioration du revêtement ». Un substrat en graphite haute densité et faible porosité ralentit efficacement la pénétration et la corrosion du substrat par les gaz de traitement ; simultanément, notre revêtement SiC épais et uniforme agit comme une barrière robuste, supprimant considérablement la sublimation à haute température. Les tests en conditions réelles montrent que, dans les mêmes conditions de traitement, les suscepteurs Veteksemicon présentent un taux de dégradation des performances plus lent et une durée de vie efficace plus longue, ce qui se traduit par des coûts d'exploitation par tranche inférieurs.

5. Avenant de vérification de la chaîne écologique

La vérification de la chaîne écologique de Veteksemicon EPI Susceptor Part couvre les matières premières jusqu'à la production, a passé la certification des normes internationales et dispose d'un certain nombre de technologies brevetées pour garantir sa fiabilité et sa durabilité dans les domaines des semi-conducteurs et des nouvelles énergies.

Pour des spécifications techniques détaillées, des livres blancs ou des modalités de test d'échantillons, veuillez contacter notre équipe d'assistance technique pour découvrir comment Veteksemicon peut améliorer l'efficacité de votre processus.

Principaux domaines d'application

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