Bras robot en carbure de silicium

Le bras robotique en carbure de silicium en silicium de Veteksemicon est une solution de traitement semi-conducteur haut de gamme conçu spécifiquement pour des environnements industriels rigoureux. En utilisant la technologie avancée des matériaux de carbure de silicium de haute pureté, il démontre une stabilité et une durabilité exceptionnelles dans des températures élevées, des environnements corrosifs et des conditions de vide ultra-hautes. En tant que composant clé des processus de manipulation, de gravure et de dépôt de plaquettes, notre bras robotique améliore considérablement la productivité et réduit les coûts de maintenance.

Ⅰ. Paramètres techniques

Ⅱ. Veteksemicon Silicon Carbide Robot Abrure Core Avantages

1. Tolérance à l'environnement extrême

Notre bras de robot utilise un revêtement SIC formulé unique qui subit plusieurs processus de dépôt à haute température, ce qui lui permet de maintenir une intégrité structurelle à des températures soutenues de 1500 ° C et de résister efficacement à la corrosion du bombardement du plasma et des environnements acides et alcalins forts. Cela aborde fondamentalement les points de douleur des matériaux traditionnels sujets au vieillissement et qui ont une courte durée de vie dans des conditions de travail extrêmes.

2. Excellentes propriétés mécaniques

En adoptant une structure composite de substrat de graphite et de revêtement SIC, nous avons atteint une rigidité dépassant de loin celle des matériaux métalliques tout en garantissant que le bras est extrêmement léger. Cette conception garantit que la déformation du bras du robot est extrêmement faible pendant le mouvement alternatif à grande vitesse, supprimant efficacement la gigue, contrôlant ainsi fermement la précision de positionnement répétée dans ± 0,02 mm, garantissant la transmission sûre des plaquettes de précision.

3. Propre à la hauteur

Nous comprenons que la contamination par les particules est le tueur numéro un de rendement. Par conséquent, chaque bras de robot subit un polissage de précision et un traitement de surface spécialisé, résultant en une RO de rugosité de surface inférieure à 0,1 μm. Le revêtement adhère en toute sécurité, empêchant tout risque de pelage. Nos produits sont à 100% testés de la propreté, répondant pleinement aux exigences ultra-hauts et prêts à l'emploi dans des lignes de production de pointe.

4. Longue durée de vie

Grâce à la dureté inhérente de SIC de 3000 HV et à une excellente résistance à l'usure, nos armes robots connaissent une dégradation minimale des performances même après des dizaines de milliers de cycles de mouvement. Leur durée de vie est à plusieurs reprises celle des composants en alliage en céramique ou en aluminium ordinaires, réduisant considérablement les temps d'arrêt pour le remplacement et la maintenance, offrant une rentabilité globale importante pour nos clients.

Ⅲ. Champs d'application principaux

Veteksemicon Silicon Carbide Robot ARM 'La vérification de la chaîne écologique couvre les matières premières à la production, a réussi la certification des normes internationales et possède un certain nombre de technologies brevetées pour assurer sa fiabilité et sa durabilité dans le semi-conducteur et les nouveaux domaines énergétiques. Bienvenue pour nous consulter à tout moment.