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Revêtement en carbure de silicium

VeTek Semiconductor se spécialise dans la production de produits de revêtement en carbure de silicium ultra purs, ces revêtements sont conçus pour être appliqués sur des composants en graphite purifié, en céramique et en métal réfractaire.


Nos revêtements de haute pureté sont principalement destinés à être utilisés dans les industries des semi-conducteurs et de l'électronique. Ils servent de couche protectrice pour les supports de tranches, les suscepteurs et les éléments chauffants, les protégeant des environnements corrosifs et réactifs rencontrés dans des processus tels que MOCVD et EPI. Ces processus font partie intégrante du traitement des plaquettes et de la fabrication des dispositifs. De plus, nos revêtements sont bien adaptés aux applications dans les fours à vide et le chauffage d'échantillons, où l'on rencontre des environnements sous vide poussé, réactifs et oxygénés.


Chez VeTek Semiconductor, nous proposons une solution complète grâce à nos capacités avancées d'atelier d'usinage. Cela nous permet de fabriquer les composants de base en graphite, en céramique ou en métaux réfractaires et d'appliquer les revêtements céramiques SiC ou TaC en interne. Nous fournissons également des services de revêtement pour les pièces fournies par le client, garantissant ainsi la flexibilité nécessaire pour répondre à divers besoins.


Nos produits de revêtement en carbure de silicium sont largement utilisés dans l'épitaxie Si, l'épitaxie SiC, le système MOCVD, le processus RTP/RTA, le processus de gravure, le processus de gravure ICP/PSS, le processus de divers types de LED, y compris les LED bleues et vertes, les LED UV et les UV profonds. LED etc., adaptée aux équipements de LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI, etc.


Pièces de réacteur que nous pouvons réaliser :


Aixtron G5 MOCVD Susceptors


Revêtement en carbure de silicium plusieurs avantages uniques :

Silicon Carbide Coating several unique advantages



Paramètre de revêtement en carbure de silicium VeTek Semiconductor

Propriétés physiques de base du revêtement CVD SiC
Propriété Valeur typique
Structure cristalline Phase β FCC polycristalline, principalement orientée (111)
Revêtement SiC Densité 3,21 g/cm³
Revêtement SiCDureté Dureté Vickers 2500 (charge de 500 g)
Taille des grains 2~10μm
Pureté chimique 99,99995%
Capacité thermique 640 J·kg-1·K-1
Température de sublimation 2700 ℃
Résistance à la flexion 415 MPa RT 4 points
Module de Young Courbure 430 Gpa 4pt, 1300℃
Conductivité thermique 300W·m-1·K-1
Expansion thermique (CTE) 4,5 × 10-6K-1

STRUCTURE CRISTALLINE DU FILM CVD SIC

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE



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Pomme de douche CVD sic

Pomme de douche CVD sic

Vetek Semiconductor est un principal fabricant de pommes de douche CVD SIC et innovateur en Chine. Nous sommes spécialisés dans le matériau SIC depuis de nombreuses années. La pomme de douche SIC CVD est choisie comme matériau de l'anneau de focalisation en raison de son excellente stabilité thermochimique, de sa résistance mécanique élevée et de sa résistance à l'érosion du plasma. Nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.
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Pomme de douche sic

Pomme de douche sic

Vetek Semiconductor est un principal fabricant de pommes de douche SIC et innovateur en Chine. Nous sommes spécialisés dans le matériau SIC depuis de nombreuses années. La pomme de douche sic est choisie comme matériau de ring en raison de son excellente stabilité thermochimique, de sa résistance mécanique élevée et de sa résistance à l'érosion du plasma. Nous attendons avec impatience de devenir votre partenaire à long terme en Chine.
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Disque d'ensemble de revêtement SIC

Disque d'ensemble de revêtement SIC

Vetek Semiconductor est le premier fabricant de revêtements CVD SIC en Chine, propose un disque d'ensemble de revêtement SIC dans les réacteurs AIXTRON MOCVD. Ces disques d'ensemble de revêtement SIC sont fabriqués à l'aide d'un graphite de haute pureté et comportent un revêtement CVD SIC avec une impureté inférieure à 5 ppm. Votre demande est la bienvenue.
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Centre de collection de revêtement SIC

Centre de collection de revêtement SIC

Vetek Semiconductor est un fabricant réputé pour le revêtement SIC CVD en Chine, vous apporte le centre de collecteur de revêtement SIC de pointe dans le système AIXTRON G5 MOCVD. Ce centre de collecteur de revêtement SIC est méticuleusement conçu avec du graphite de haute pureté et possède un revêtement avancé de CVD SIC, assurant une stabilité à haute température, une résistance à la corrosion, une pureté élevée. Avant de coopérer avec vous!
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Top collecteur de revêtement sic

Top collecteur de revêtement sic

Bienvenue à Vetek Semiconductor, votre fabricant de confiance de revêtements CVD SIC. Nous sommes fiers d'offrir un haut de collecteur de revêtement Aixtron SIC, qui sont conçus de manière experte en utilisant du graphite de haute pureté et comportent un revêtement SIC CVD à la pointe de la technologie avec une impureté inférieure à 5 ppm. N'hésitez pas à nous contacter avec des questions ou des demandes
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SiC Coating Collector Bottom

SiC Coating Collector Bottom

Avec notre expertise dans la fabrication de revêtement CVD SIC, Vetek Semiconductor présente fièrement le fond, le centre et le haut du collecteur de revêtement Aixtron SIC. Ces fond de collecteur de revêtement SIC sont construits en utilisant du graphite de haute pureté et sont enduits de CVD SIC, garantissant une impureté inférieure à 5 ppm. N'hésitez pas à nous contacter pour plus d'informations et de demandes de renseignements.
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En tant que fabricant et fournisseur professionnel Revêtement en carbure de silicium en Chine, nous avons notre propre usine. Que vous ayez besoin de services personnalisés pour répondre aux besoins spécifiques de votre région ou que vous souhaitiez acheter avancé et durable Revêtement en carbure de silicium en Chine, vous pouvez nous laisser un message.
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